| 查看: 4490 | 回复: 20 | ||
mengbin木虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
|
|
| 各位虫友：本人使用一台中国科仪（沈阳）的磁控溅射仪（JGP450型），以前利用射频溅射氧化物薄膜时均正常，可是前一段发生了一次磁控靶和设备之间短路的问题，现在短路修好了，可是射频溅射不能起辉，但直流溅射时一切均正常。现在搞不懂了，到底是哪出问题了。我们的射频电源是Comdel的，怀疑有问题邮寄到北京检测了，厂家说没问题，可现在就是不能工作。烦请各位虫友指点、解惑。 |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有225人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于磁控溅射参数
已经有15人回复
- 磁控溅射射频电源自动关闭
已经有12人回复
- 磁控溅射分为哪几种电源？是不是电源电离惰性气体产生等离子的？
已经有0人回复
- 磁控溅射如何确定电源类型
已经有4人回复
- 射频磁控溅射
已经有2人回复
- 加热对磁控溅射辉光影响
已经有6人回复
- 射频磁控溅射功率问题
已经有21人回复
- 关于射频磁控溅射
已经有7人回复
- 磁控溅射靶材中毒的原因
已经有0人回复
- 溅射靶材磁控溅射靶材中毒的原因
已经有2人回复
- 磁控溅射可以连续溅射多久，以及氧化铪工艺
已经有12人回复
- 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
- 有关磁控溅射ITO直流偏压电源的作用
已经有2人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 磁控溅射电源求助
已经有17人回复
- 磁控溅射匹配器没有反应???
已经有1人回复
- 磁控溅射电机过载，电源打不开了
已经有2人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】磁控溅射电源的接法
已经有0人回复
oxky
金虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1010.8
- 红花: 1
- 帖子: 118
- 在线: 200.6小时
- 虫号: 1143986
- 注册: 2010-11-11
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2012-11-09 16:38:21
god1999
金虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1052.2
- 红花: 1
- 帖子: 131
- 在线: 110.2小时
- 虫号: 1688105
- 注册: 2012-03-13
- 性别: GG
- 专业: 能源化工
6楼2012-11-10 14:11:38
yaojq73
木虫 (正式写手)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 2748.8
- 散金: 931
- 红花: 1
- 帖子: 477
- 在线: 238.2小时
- 虫号: 1502206
- 注册: 2011-11-21
- 专业: 半导体材料
7楼2012-11-10 20:08:55
2楼2012-11-08 23:27:58
xpengpengx
铜虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 628.7
- 散金: 14
- 红花: 1
- 帖子: 128
- 在线: 112.4小时
- 虫号: 2138044
- 注册: 2012-11-20
- 专业: 半导体光电子器件
9楼2013-01-21 10:33:37
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
10楼2013-05-07 09:03:58
hyss1992
金虫 (小有名气)
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 1428.7
- 红花: 7
- 帖子: 252
- 在线: 108.9小时
- 虫号: 2648143
- 注册: 2013-09-11
- 性别: GG
- 专业: 光学
14楼2013-11-13 20:44:43
aaron5235
木虫 (正式写手)
- 应助: 18 (小学生)
- 金币: 3174.8
- 散金: 1465
- 红花: 16
- 帖子: 453
- 在线: 107.9小时
- 虫号: 1721181
- 注册: 2012-03-27
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
4楼2012-11-09 18:40:18
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mengbin: 金币+2, ★有帮助 2012-11-11 08:15:15
感谢参与，应助指数 +1
mengbin: 金币+2, ★有帮助 2012-11-11 08:15:15
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2012-11-10 00:41:00
8楼2012-11-11 19:00:54
20