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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
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mengbin

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）

各位虫友：本人使用一台中国科仪（沈阳）的磁控溅射仪（JGP450型），以前利用射频溅射氧化物薄膜时均正常，可是前一段发生了一次磁控靶和设备之间短路的问题，现在短路修好了，可是射频溅射不能起辉，但直流溅射时一切均正常。现在搞不懂了，到底是哪出问题了。我们的射频电源是Comdel的，怀疑有问题邮寄到北京检测了，厂家说没问题，可现在就是不能工作。烦请各位虫友指点、解惑。
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1楼 2012-11-08 22:25:16
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

oxky

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mengbin: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-11-10 07:07:22
如果没有短路，射频开启后，是否有反射功率，有没试着增加功率？如果改过腔体或靶，不起辉应该是匹配有问题。设备是否是自动匹配？手动的话就要自己调。由于设备调整过，自动的话有可能超出了自动调整范围。如果是大功率电源的话，通常在匹配器中有电感可以选择不同的位置连接，有的也可通过调可变电容接线位来调整范围。调整方式应该可以在电源说明书中找到。注改完调试或手动匹配是，采用小功率进行。
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roadlesstraveled
3楼2012-11-09 16:38:21
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god1999

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
调节挡板与靶材的距离，不要使挡板和靶材的距离太近。这样很难起辉。不知道对你是否有用。磁控溅射用的很少，大家多探讨。
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新手，求帮助
6楼2012-11-10 14:11:38
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yaojq73

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
mengbin: 金币+1, ★有帮助 2012-11-11 08:15:22
我以前做的时候射频电源不起辉也时有发生，调了各种参数，考虑了各种可能性，自己也没能搞定。后来去微电子所给修了下，原来是匹配器老化，里面接触有问题～多试试，一般来说技术性破坏可能性比较小
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7楼2012-11-10 20:08:55
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daling8210

铁虫 (正式写手)
不知道啊，你用直流靶引一下试试？
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2楼2012-11-08 23:27:58
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
mengbin: 金币+1 2013-01-22 09:00:51
应该是你的功率匹配没调好吧  我们实验室也是沈科仪的设备，功率匹配是要手动调的，换靶材后需要重新调功率匹配器的，只有功率匹配调好了才能正常起辉
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欢迎MO-TFT的虫友一起交流
9楼2013-01-21 10:33:37
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
射频需要match
如果match不配合的话，反射功率很大，没有辉光。
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10楼2013-05-07 09:03:58
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hyss1992

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

匹配器问题，换过靶材一般都需要调匹配器。。
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Stayhungry,stayfoolish.
14楼2013-11-13 20:44:43
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普通回帖

aaron5235

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
起辉？频率有改变吗？ 气体纯度有影响
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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
4楼2012-11-09 18:40:18
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wangya705

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mengbin: 金币+2, ★有帮助 2012-11-11 08:15:15
本帖内容被屏蔽
5楼2012-11-10 00:41:00
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digghost

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
同意七楼的观点，有可能是射频的天线有问题导致能量传不过来。
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呵呵了
8楼2012-11-11 19:00:54
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