| 查看: 4491 | 回复: 20 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
mengbin木虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
|
|
| 各位虫友：本人使用一台中国科仪（沈阳）的磁控溅射仪（JGP450型），以前利用射频溅射氧化物薄膜时均正常，可是前一段发生了一次磁控靶和设备之间短路的问题，现在短路修好了，可是射频溅射不能起辉，但直流溅射时一切均正常。现在搞不懂了，到底是哪出问题了。我们的射频电源是Comdel的，怀疑有问题邮寄到北京检测了，厂家说没问题，可现在就是不能工作。烦请各位虫友指点、解惑。 |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有137人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于磁控溅射参数
已经有15人回复
- 磁控溅射射频电源自动关闭
已经有12人回复
- 磁控溅射分为哪几种电源？是不是电源电离惰性气体产生等离子的？
已经有0人回复
- 磁控溅射如何确定电源类型
已经有4人回复
- 射频磁控溅射
已经有2人回复
- 加热对磁控溅射辉光影响
已经有6人回复
- 射频磁控溅射功率问题
已经有21人回复
- 关于射频磁控溅射
已经有7人回复
- 磁控溅射靶材中毒的原因
已经有0人回复
- 溅射靶材磁控溅射靶材中毒的原因
已经有2人回复
- 磁控溅射可以连续溅射多久，以及氧化铪工艺
已经有12人回复
- 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
- 有关磁控溅射ITO直流偏压电源的作用
已经有2人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 磁控溅射电源求助
已经有17人回复
- 磁控溅射匹配器没有反应???
已经有1人回复
- 磁控溅射电机过载，电源打不开了
已经有2人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】磁控溅射电源的接法
已经有0人回复
yaojq73
木虫 (正式写手)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 2748.8
- 散金: 931
- 红花: 1
- 帖子: 477
- 在线: 238.2小时
- 虫号: 1502206
- 注册: 2011-11-21
- 专业: 半导体材料
7楼2012-11-10 20:08:55
2楼2012-11-08 23:27:58
oxky
金虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1010.8
- 红花: 1
- 帖子: 118
- 在线: 200.6小时
- 虫号: 1143986
- 注册: 2010-11-11
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2012-11-09 16:38:21
aaron5235
木虫 (正式写手)
- 应助: 18 (小学生)
- 金币: 3174.8
- 散金: 1465
- 红花: 16
- 帖子: 453
- 在线: 107.9小时
- 虫号: 1721181
- 注册: 2012-03-27
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
4楼2012-11-09 18:40:18
20