| 查看: 2944 | 回复: 2 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
304638266银虫 (小有名气)
|
[求助]
有关磁控溅射ITO直流偏压电源的作用
|
|
| 用磁控溅射生长ITO，用到射频电源和直流偏压电源，这个直流偏压电源起到的作用是什么？ |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有7人回复
-
上海工程技术大学 激光智能制造课题组 2027级博士研究生招生
已经有6人回复
-
课题组招2027级博士 上海工程技术大学 激光智能制造方向
已经有6人回复
-
现代”学阀”该如何界定
已经有14人回复
-
师弟论文见刊大半年才想起来申请专利，还能抢救一下吗？
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
已经有11人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
犇�?
铁杆木虫 (职业作家)
院士
- 博学EPI: 19
- 应助: 362 (硕士)
- 贵宾: 0.021
- 金币: 8586.3
- 散金: 65
- 红花: 45
- 帖子: 3288
- 在线: 411.5小时
- 虫号: 2441785
- 注册: 2013-04-29
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
304638266: 金币+6, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-05-09 15:01:55
304638266: 金币+6, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-05-09 15:01:55
|
ITO的导电性能很好，射频和直流都可以用的！不过也要看你的用途，会有一些区别？ 如果做研究，当然射频的好了。 如果是生产，绝对是直流的。 如果你的靶材导电性这些不是很好，但是直流也不是不能用的时候，射频就会更加稳定。如果硬要用直流也可以，但是或许你的靶材的一些问题会被放大或者累计。射频会帮你弥补一些，当然是质量好的射频电源。打火 这些问题会少很多，对你膜层质量要好一些。 但是也不是绝对的，所以看你的靶材，以及设备这些来决定。 不需要非要追究哪个好哪个不好哦 直流偏压电源 主要作用包括：被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。 |
3楼2013-05-07 11:13:32
wolfghost
版主 (知名作家)
- 博学EPI: 432
- 应助: 101 (高中生)
- 贵宾: 7.987
- 金币: 36642.2
- 散金: 11283
- 红花: 198
- 沙发: 8
- 帖子: 7796
- 在线: 1298.1小时
- 虫号: 573180
- 注册: 2008-06-13
- 性别: GG
- 专业: 电化学
- 管辖: 有奖问答
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★
304638266: 金币+4, ★有帮助 2013-05-09 15:02:02
304638266: 金币+4, ★有帮助 2013-05-09 15:02:02
|
楼主，在资料中查到这些内容： 直流偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。主要作用包括：被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火，明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。 供参考  资料链接：https://cache.baiducontent.com/c ... p;qid=&p1=2 |
2楼2013-05-07 10:49:25