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304638266银虫 (小有名气)
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[求助]
有关磁控溅射ITO直流偏压电源的作用
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| 用磁控溅射生长ITO，用到射频电源和直流偏压电源，这个直流偏压电源起到的作用是什么？ |
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犇�?
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
304638266: 金币+6, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-05-09 15:01:55
304638266: 金币+6, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-05-09 15:01:55
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ITO的导电性能很好，射频和直流都可以用的！不过也要看你的用途，会有一些区别？ 如果做研究，当然射频的好了。 如果是生产，绝对是直流的。 如果你的靶材导电性这些不是很好，但是直流也不是不能用的时候，射频就会更加稳定。如果硬要用直流也可以，但是或许你的靶材的一些问题会被放大或者累计。射频会帮你弥补一些，当然是质量好的射频电源。打火 这些问题会少很多，对你膜层质量要好一些。 但是也不是绝对的，所以看你的靶材，以及设备这些来决定。 不需要非要追究哪个好哪个不好哦 直流偏压电源 主要作用包括：被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。 |
3楼2013-05-07 11:13:32
wolfghost
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★
304638266: 金币+4, ★有帮助 2013-05-09 15:02:02
304638266: 金币+4, ★有帮助 2013-05-09 15:02:02
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楼主，在资料中查到这些内容： 直流偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。主要作用包括：被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火，明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。 供参考  资料链接：https://cache.baiducontent.com/c ... p;qid=&p1=2 |
2楼2013-05-07 10:49:25
10