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liuyuexue金虫 (小有名气)
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[求助]
关于磁控溅射参数 已有5人参与
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公司要买一台国产磁控溅射，预算40万左右，需要加温沉积、反应溅射，涉及到的沉积材料有金属和氧化物薄膜。厂家给的方案如下（55万）：请大家帮忙看一下哪些功可以优化，比如分子泵需不需要进口，直流电源、射频电源、偏压电源需不需要进口，哪些部件可以用便宜些的省下的钱用在其他部件上。毕竟是企业不是高校，还是希望把钱花在刀刃上。 《产品配置清单》 序号 名称 参数 数量 生产厂家 1 高真空不锈钢腔室 约Φ450mm×400mm 1套 沈阳科仪 2 腔体防污内衬 1套 沈阳科仪 3 观察窗及法兰 CF100/CF63,配防护挡板 1套 沈阳科仪 4 腔室照明 1只 沈阳科仪 5 旋转基片工装 120mm基片台 1套 沈阳科仪 6 旋转调速电机及电源 1套 沈阳科仪 7 基片台加热系统 室温至600℃可调可控 1套 沈阳科仪 8 腔室烘烤 烘烤温度：100℃ 1套 沈阳科仪 11 温度测量、控制系统 日本山武公司温度控制器， 1套 沈阳科仪 PID 控温、可调可控 12 陶封电极 CF35四芯 1套 沈阳科仪 13 分子泵 Hipace700 685L/s 1台 德国普发 14 机械泵 直联式旋片泵 TRP-36 1台 北京优成 15 气动插板阀 CC-150 1台 沈阳科仪 16 旁抽阀 DF40 1台 进口SMC 17 气动截止阀 DF40 1支 北京川北 18 电磁充气阀 DF40 1支 上海西马特 19 节流阀 DN150 1台 沈阳科仪 20 电磁截止阀 DN6 2台 北京 21 气动截止阀 DN16 2个 北京 22 真空抽气管道 不锈钢三通及波纹管 2台 沈阳科仪 23 真空规 1个 Inficon 24 永磁靶 含1只强磁靶 3只 沈阳科仪 25 磁控靶接管组件 3只 沈阳科仪 26 靶的挡板 气动 3只 进口SMC气缸 27 1000W直流溅射电源 1台 国产数字式 28 1000w射频电源及匹配器 全自动匹配 1台 HK SMITH 29 -200v偏压电源 -200v 1台 沈阳科仪 30 质量流量控制器 量程0-100SCCM0-20SCCM 2路 国产 31 控温电源系统 1套 沈阳科仪 32 控制电源 分子泵、机械泵、电磁阀、水压报警、照明烘烤,基片旋转、基体加热、连锁控制系统等。1台 沈阳科仪 34 总控制电源 1台 沈阳科仪 35 PLC+工控机+触摸屏 1套 沈阳科仪 36 水管、变通、接嘴、不锈钢球阀、气路卡套、管接头不锈钢材质,配套合理管路 1套 沈阳科仪 37 气管、变通、接头气体管道金属管 1套 沈阳科仪 38 安装机架 表面喷塑、配脚轮、配门 1台 沈阳科仪 39 靶材 测试靶材 3块 沈阳科仪 40 低噪音气泵 1台 外购 41 专用工具 含工具箱 1套 沈阳科仪 42 密封、连接件及其附件 金属密封（静密封）+氟胶圈密封 1批 沈阳科仪 43 氟橡胶密封圈 相应规格的泵、阀、管路、各轴封处易损密封圈1套 沈阳科仪 44 无氧铜垫圈 1套 沈阳科仪 45 螺栓、螺母、垫圈、螺钉等标准件 1套 沈阳科仪 |
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2016-02-19 09:36:14, 1.5 M
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8楼2016-02-22 09:03:10
caojingpie
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pengjinqiang
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2楼2016-02-19 10:13:10
pengjinqiang
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3楼2016-02-19 10:13:59
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
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楼主你好， 首先，沈科仪报价，物有所值，不高。 其次，要想控制成本，可以 1.降低技术指标，如极限真空室。 2.射频电源采用国产，功率小一点。 3.分子泵，真空计都换成国产。 这样下来大概要45万。 发自小木虫Android客户端 |
5楼2016-02-20 15:07:28
草也花开
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6楼2016-02-20 22:43:18
yangguang118
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liuyuexue
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