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可_柯木银虫 (初入文坛)
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[交流]
关于磁控溅射制备In2O3薄膜颜色的问题
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以下是我的工艺参数，请各位学者帮我分析一下薄膜颜色的问题。 本底真空6*10-4Pa以下，RF100w，Ar/N2流量比=4/1，气压电阻规1Pa，溅射时间2h，靶基距7cm，基片温度室温，开启自转，我做出来膜厚大概5μm，氧化铟薄膜应该是淡黄色的，我做出来是黑色的，请问怎么回事?我1000度大气退火后颜色变回淡黄色，有缺氧的原因，请问还有什么可能导致薄膜是黑色的以及你们做出来的是什么颜色？ |
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