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ydar123

至尊木虫 (职业作家)


[交流] 关于磁控溅射镀膜设备的问题

大家我想请教大家一个问题,就是我的使用磁控溅射沉积系统,来制备薄膜样品,可是现在我的设备出现一些问题,就是在镀膜的过程中不能改变气压,如果改变了气压辉光颜色就会发生很大变化,而且在将气压调到会原来的位置辉光颜色也变不回来。我使用的气体是氩气,做金属膜,本来辉光是蓝色可是一改变气压就变为紫色了。这个其中出现了什么问题?请大家指教。
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开心飞飞

新虫 (初入文坛)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
ydar123: 金币+1, 谢谢你的回复,如果是靶磁场有问题会出现什么情况! 2013-07-01 18:45:44
检查一下MFC出了问题。做金属膜,辉光颜色和工艺压力多少有关,压力高,颜色会向蓝色转变;辉光颜色还与溅射电流大小有关,溅射电流加大,辉光也会变蓝(电流控制模式)。望对你有帮助。
2楼2013-06-30 10:18:45
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aaron5235

木虫 (正式写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
ydar123: 金币+1, 我将气压调低以后的变化正常,可是再将气压调高的话就不会变为原来的颜色。和我以前做实验的现象不一样! 2013-07-01 18:46:37
这种颜色的变化很正常,气体量不同,气压不同。
4楼2013-06-30 11:00:23
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 开心飞飞 at 2013-06-30 10:18:45
检查一下MFC出了问题。做金属膜,辉光颜色和工艺压力多少有关,压力高,颜色会向蓝色转变;辉光颜色还与溅射电流大小有关,溅射电流加大,辉光也会变蓝(电流控制模式)。望对你有帮助。

你好,如果是磁控靶的磁场出现了变化的话,会不会影响到辉光的颜色!
5楼2013-07-03 16:07:28
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houjinhai3楼
2013-06-30 10:32   回复  
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