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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于磁控溅射镀膜设备的问题
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)

[交流] 关于磁控溅射镀膜设备的问题

大家我想请教大家一个问题，就是我的使用磁控溅射沉积系统，来制备薄膜样品，可是现在我的设备出现一些问题，就是在镀膜的过程中不能改变气压，如果改变了气压辉光颜色就会发生很大变化，而且在将气压调到会原来的位置辉光颜色也变不回来。我使用的气体是氩气，做金属膜，本来辉光是蓝色可是一改变气压就变为紫色了。这个其中出现了什么问题？请大家指教。
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1楼 2013-06-30 09:13:43
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开心飞飞

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ydar123: 金币+1, 谢谢你的回复，如果是靶磁场有问题会出现什么情况！ 2013-07-01 18:45:44
检查一下MFC出了问题。做金属膜，辉光颜色和工艺压力多少有关，压力高，颜色会向蓝色转变；辉光颜色还与溅射电流大小有关，溅射电流加大，辉光也会变蓝（电流控制模式）。望对你有帮助。
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2楼2013-06-30 10:18:45
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aaron5235

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ydar123: 金币+1, 我将气压调低以后的变化正常，可是再将气压调高的话就不会变为原来的颜色。和我以前做实验的现象不一样！ 2013-07-01 18:46:37
这种颜色的变化很正常，气体量不同，气压不同。
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4楼2013-06-30 11:00:23
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 开心飞飞 at 2013-06-30 10:18:45
检查一下MFC出了问题。做金属膜，辉光颜色和工艺压力多少有关，压力高，颜色会向蓝色转变；辉光颜色还与溅射电流大小有关，溅射电流加大，辉光也会变蓝（电流控制模式）。望对你有帮助。

你好,如果是磁控靶的磁场出现了变化的话,会不会影响到辉光的颜色！
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5楼2013-07-03 16:07:28
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houjinhai3楼
2013-06-30 10:32   回复  
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