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[交流]
关于磁控溅射镀膜设备的问题
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| 大家我想请教大家一个问题，就是我的使用磁控溅射沉积系统，来制备薄膜样品，可是现在我的设备出现一些问题，就是在镀膜的过程中不能改变气压，如果改变了气压辉光颜色就会发生很大变化，而且在将气压调到会原来的位置辉光颜色也变不回来。我使用的气体是氩气，做金属膜，本来辉光是蓝色可是一改变气压就变为紫色了。这个其中出现了什么问题？请大家指教。 |
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