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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射设备真空问题
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msehao

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射设备真空问题

求助：沈科仪的磁控设备，之前溅射了十来次的石墨靶好好的。在一次用吸尘器清理腔体和撤换贴在腔体壁上的锡箔纸后，开机，抽真空，发现电阻真空计一直显示1*10^5，当机械泵抽了一个半小时后（平时15分钟就能到10Pa），开启分子泵，分子泵转到127就自动停下来了，并且这还有一些噪音。后来试了试，发现机械泵抽二十分钟后，过两天，破真空依然要几分钟的时间。这是不是说明不漏气呀？今天换了一个新的电阻规管，发现抽气后，显示9.9*10^4，抽几分钟后显示9.5^104，最后一直显示9.4*10^4，不管机械泵抽多久都这个数。请问各位，这种情况问题一般出在哪呀？
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1楼2012-11-13 16:29:59
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
额，我用的是上海纳晶科技有限公司的磁控溅射设备。抽个真空都花5个多小时啊。估计是时间长了，设备越来越不管用了。我镀膜，绝大部分时间都花在抽真空上了，蛋疼。
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你相信，你行的
2楼2012-11-14 09:44:06
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zhaolianbo

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
msehao: 金币+2, ★有帮助 2012-11-16 22:22:32
在确定电阻规和真空计都正常的情况下，开始：1.先检查机械泵坏没坏，方法：拆掉机械泵电磁阀，开启电源，用手捂一下感觉一下（一般不容易坏），2.如果机械泵没坏，再检查抽气管道，3.如果以上两点都没问题，那就说明腔体有很大的漏洞（应该很大的漏气量，漏点都不太可能），可以根据漏气的声音去寻找外部的漏点。有问题可以再交流
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3楼2012-11-14 15:26:15
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tmhuang

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
msehao: 金币+2, ★有帮助 2012-11-16 22:22:53
注意检查一些阀门有没有关好.以前做实验的时候如果接受别人用过的真空设备我都要每个开关阀门以及数值设定都检查一下再操作.

操作的时候如果出现分子泵自动停止,是没有报警就停止了么?还是报警了才停止的?

清理腔室的时候可能碰到一些传感器的线路,检查一下有没有损坏.

如果漏气的话,检查真空室的盖子的密封圈有没有问题;检查机械手的波纹管有没有漏气(来回慢慢拉看看真空度变化明显不);让机械泵一直抽,不要着急开分子泵,看看真空能不能下降到低真空计的下限;

关闭隔板阀,打开电磁阀,用机械泵抽分子泵,可能有所帮助.
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生活是自己选择的衣裳`
4楼2012-11-14 15:34:40
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msehao

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by tmhuang at 2012-11-14 15:34:40
注意检查一些阀门有没有关好.以前做实验的时候如果接受别人用过的真空设备我都要每个开关阀门以及数值设定都检查一下再操作.

操作的时候如果出现分子泵自动停止,是没有报警就停止了么?还是报警了才停止的?

清 ...

今天都试过了。估计是机械泵的问题或者真空显示计的问题。暂时排除了腔体漏气的可能性。分子泵应该是没有报警就停止了。苏州方昇科技，你接触过这个厂家没？
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5楼2012-11-14 15:49:17
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tmhuang

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

具体的泵的问题我就没有太多经验了.以前没坏过没修过.不过鉴于你的情况,分子泵还是不要尝试去启动了吧,免得造成更大损失. 修起来也麻烦. 机械泵倒是好点儿,大不了换个新的不折腾.分子泵要弄,估计整个设备都要重新组装一遍了.
我记得有一次我把真空计弄坏了,读书显示真空度非常高...这个经验可以借鉴一下.

期待高手出现.....bless.
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生活是自己选择的衣裳`
6楼2012-11-14 16:40:22
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闲人四百

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
机械泵的泵油时间会不会太长了，可以检查下泵油是不是浑浊了。抽真空时会把水蒸气和各种溅射出的分子之类的抽到机械泵中，如果机械泵里充斥着这些气体排不出来，真空度就上不去。把机械泵打开，不开其他的，只让机械泵空转，把里面积聚的水汽之类的排出来，再抽真空试试。
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7楼2012-11-14 18:59:03
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msehao

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by tmhuang at 2012-11-14 16:40:22
具体的泵的问题我就没有太多经验了.以前没坏过没修过.不过鉴于你的情况,分子泵还是不要尝试去启动了吧,免得造成更大损失. 修起来也麻烦. 机械泵倒是好点儿,大不了换个新的不折腾.分子泵要弄,估计整个设备都要重新组 ...

"我记得有一次我把真空计弄坏了,读书显示真空度非常高",是不是在其他帖子里看到的有短路的情况。我现在的情况是真空度基本接近大气压。费解呀。
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8楼2012-11-15 08:34:01
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msehao

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 闲人四百 at 2012-11-14 18:59:03
机械泵的泵油时间会不会太长了，可以检查下泵油是不是浑浊了。抽真空时会把水蒸气和各种溅射出的分子之类的抽到机械泵中，如果机械泵里充斥着这些气体排不出来，真空度就上不去。把机械泵打开，不开其他的，只让机械 ...

昨天检查了油，油很亮，因为有得少，油好像没有问题。今天再检查下其他地方看看。
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9楼2012-11-15 08:35:07
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oxky

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
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msehao: 金币+2, ★有帮助 2012-11-16 22:23:39
10有8，9就是漏气了，分子泵负载过大就是自己保护停了。。泵组没异常响声的话应该没问题。用酒精沿着接口阿，阀门之类的喷。喷到那里有真空波动，就是哪里漏，处理之。
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roadlesstraveled
10楼2012-11-15 13:28:48
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