| 查看: 641 | 回复: 0 | ||
[求助]
磁控溅射氮化硅中氧杂质的问题
|
求助了求助了 ，本人用中频磁控溅射制备SiNx，折射率只有1.7，和SiON的差不多，后来去打了XPS（为了排除表面吸附氧，表面刻蚀了10nm），发现里面有40%的氧。目前已排除真空室漏气，气体都是99.99%的，沉积温度从100-300摄氏度都试过，本底10-4Pa，工作气压0.6-1.2Pa，Ar：N2也调了很大范围，结果对折射率影响很小。目前认为，由于设备不达标，溅射功率太低，只有2-3W/cm3，和其它文献报道的6W/cm3差太多。 不知道其他虫虫有无相关经验，帮小弟分析分析 |
回复此楼» 猜你喜欢
导师想让我从独立一作变成了共一第一
已经有9人回复
-
博士读完未来一定会好吗
已经有23人回复
-
到新单位后，换了新的研究方向，没有团队，持续积累2区以上论文，能申请到面上吗
已经有11人回复
-
读博
已经有4人回复
-
JMPT 期刊投稿流程
已经有4人回复
-
心脉受损
已经有5人回复
-
Springer期刊投稿求助
已经有4人回复
-
小论文投稿
已经有3人回复
-
申请2026年博士
已经有6人回复
找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~
磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 磁控溅射出问题了大虾们帮帮忙
已经有6人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
点击这里搜索更多相关资源科研从小木虫开始，人人为我，我为人人