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磁控溅射设备真空问题
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| 求助：沈科仪的磁控设备，之前溅射了十来次的石墨靶好好的。在一次用吸尘器清理腔体和撤换贴在腔体壁上的锡箔纸后，开机，抽真空，发现电阻真空计一直显示1*10^5，当机械泵抽了一个半小时后（平时15分钟就能到10Pa），开启分子泵，分子泵转到127就自动停下来了，并且这还有一些噪音。后来试了试，发现机械泵抽二十分钟后，过两天，破真空依然要几分钟的时间。这是不是说明不漏气呀？今天换了一个新的电阻规管，发现抽气后，显示9.9*10^4，抽几分钟后显示9.5^104，最后一直显示9.4*10^4，不管机械泵抽多久都这个数。请问各位，这种情况问题一般出在哪呀？ |
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zhaolianbo
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3楼2012-11-14 15:26:15