| 查看: 2111 | 回复: 6 | ||
[求助]
磁控溅射设备出现问题 已有4人参与
|
| 最近我们实验室磁控溅射仪出现问题：机械泵和分子泵可以抽到理想的真空度，但是溅射几分钟之后，真空度突然升高，无法工作。各路大神给予指点呀！这是什么原因呀 |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有160人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题
已经有16人回复
- 关于磁控溅射抽真空的问题
已经有9人回复
- 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决
已经有9人回复
- 求助：磁控溅射真空抽不上来
已经有10人回复
- 磁控溅射低真空计异常求助
已经有4人回复
- 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
已经有23人回复
- 关于磁控溅射镀膜设备的问题
已经有4人回复
- 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
已经有13人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- Sputter磁控溅射的设置单位问题
已经有9人回复
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
- 【交流】磁控溅射 --抽不下去真空
已经有23人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
2楼2014-10-31 22:31:08
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2014-10-31 23:25:27
hnyhg
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 9188.5
- 散金: 80
- 帖子: 559
- 在线: 208.1小时
- 虫号: 365839
- 注册: 2007-05-09
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2014-11-01 09:18:39
5楼2014-11-01 10:05:06
6楼2014-11-03 16:09:48
wangshaobin
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 96.3
- 帖子: 17
- 在线: 11.5小时
- 虫号: 2936633
- 注册: 2014-01-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
7楼2014-11-10 14:23:50
投票:
10