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磁控溅射设备出现问题已有4人参与
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| 最近我们实验室磁控溅射仪出现问题：机械泵和分子泵可以抽到理想的真空度，但是溅射几分钟之后，真空度突然升高，无法工作。各路大神给予指点呀！这是什么原因呀 |
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wangshaobin
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