| 查看: 4523 | 回复: 16 | ||
[求助]
求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题 已有4人参与
|
||
|
在双面氧化长有1.4um的二氧化硅的p100硅片上面用磁控溅射镀上1.2um的铝，镀完后发现有很大部分区域颜色发黑，没有铝金属光泽。用万用表测试是否短路发现颜色较浅的区域能导通，颜色最暗的小部分区域无法导通，显示有很小的电阻。然后按照相同的参数，又镀了一片，发现依然有区域颜色稍微暗，但是全部能短路导通。下图一是先后镀的两个片子，下图二是直接在没有二氧化硅的硅片上镀铝后的图。（镀铝是为了做离子刻蚀的抗刻蚀层） 现在就是不清楚这些发暗的区域到底是怎么回事，难道是没有镀上铝或者镀的很少吗？或者是铝和二氧化硅反应生成了硅和氧化铝，从而失去了金属光泽？ 然后呢，这些硅片全部都是用高温胶带粘住三个角给粘在腔室里的，所以我们能看到三个角上是没有铝的，然后开腔取片子时，我还特意测了一下高温胶带表面是否镀上铝了，发现高温胶带表面是短路导通的。这就说明高温胶带上面也镀上铝了啊。但是我们老板怀疑是镀的铝比较少，因为第一片背面做的是有结构的，很重要，所以现在实验就没法做了，很着急发暗的区域到底是怎么了，请前辈赐教啊，感激不尽！  IMG_20140626_215404.jpg  IMG_20140626_215501.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
0856材料306分调剂
已经有4人回复
-
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有19人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有154人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 讨论磁控溅射靶变黑的原因
已经有7人回复
- 磁控溅射镀碳膜没有镀上去
已经有12人回复
- 磁控溅射TiN的颜色问题
已经有8人回复
- 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
已经有13人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- Sputter磁控溅射的设置单位问题
已经有9人回复
- 磁控溅射台真空度问题
已经有11人回复
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！
已经有6人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2014-06-27 01:35:21
hrhhrh
木虫 (正式写手)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 2383.2
- 红花: 3
- 沙发: 1
- 帖子: 922
- 在线: 818.4小时
- 虫号: 3277872
- 注册: 2014-06-17
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
14楼2014-06-29 21:39:04
metaliium
银虫 (正式写手)
- 应助: 69 (初中生)
- 金币: 2368.1
- 散金: 25
- 红花: 12
- 帖子: 439
- 在线: 118.4小时
- 虫号: 1916175
- 注册: 2012-07-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2014-06-27 06:24:18
4楼2014-06-27 10:44:32
5楼2014-06-27 10:46:15
metaliium
银虫 (正式写手)
- 应助: 69 (初中生)
- 金币: 2368.1
- 散金: 25
- 红花: 12
- 帖子: 439
- 在线: 118.4小时
- 虫号: 1916175
- 注册: 2012-07-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
6楼2014-06-27 11:13:44
7楼2014-06-27 11:56:26
cord
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
8楼2014-06-27 22:42:00
9楼2014-06-28 13:07:40
cord
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
10楼2014-06-28 20:24:09
