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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题
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fengyujian

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做个EDS分析成分。

[ 发自小木虫客户端 ]
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11楼2014-06-28 22:12:10
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫
硅片本身表面粗糙度很小，镀金属后光学性能好，但是二氧化硅层粗糙度不佳，镀金属效果不好。再就是敢问楼主镀铝的功率和电压是多大？
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千里之行始于足下
12楼2014-06-29 15:15:33
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gkbwin

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by Adrean at 2014-06-29 15:15:33
硅片本身表面粗糙度很小，镀金属后光学性能好，但是二氧化硅层粗糙度不佳，镀金属效果不好。再就是敢问楼主镀铝的功率和电压是多大？

之前在相同基底上镀的没有这么明显啊，上下两片差距也很大啊，这是让别的小组帮忙镀的，功率和电压都是固定的参数，用了很久了
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13楼2014-06-29 16:49:27
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hrhhrh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1.靶表面不是纯金属态。解决方法：预溅时间加长，靶表面溅干净后开挡板。
2.真空室有漏气。检漏。
3.工作气体不纯。检查。
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14楼2014-06-29 21:39:04
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gkbwin

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
14楼: Originally posted by hrhhrh at 2014-06-29 21:39:04
1.靶表面不是纯金属态。解决方法：预溅时间加长，靶表面溅干净后开挡板。
2.真空室有漏气。检漏。
3.工作气体不纯。检查。

会不会是没镀上？
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15楼2014-06-29 21:40:58
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hrhhrh

木虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by gkbwin at 2014-06-29 21:40:58
会不会是没镀上？...

镀上了，成分不对。
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16楼2014-06-29 21:55:21
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迎着

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

肯定是被氧化了，我做的也是，你找到改进方法了吗？
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迎着逆风
17楼2014-10-13 09:55:21
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