| 查看: 5373 | 回复: 16 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题 已有4人参与
|
||
|
在双面氧化长有1.4um的二氧化硅的p100硅片上面用磁控溅射镀上1.2um的铝，镀完后发现有很大部分区域颜色发黑，没有铝金属光泽。用万用表测试是否短路发现颜色较浅的区域能导通，颜色最暗的小部分区域无法导通，显示有很小的电阻。然后按照相同的参数，又镀了一片，发现依然有区域颜色稍微暗，但是全部能短路导通。下图一是先后镀的两个片子，下图二是直接在没有二氧化硅的硅片上镀铝后的图。（镀铝是为了做离子刻蚀的抗刻蚀层） 现在就是不清楚这些发暗的区域到底是怎么回事，难道是没有镀上铝或者镀的很少吗？或者是铝和二氧化硅反应生成了硅和氧化铝，从而失去了金属光泽？ 然后呢，这些硅片全部都是用高温胶带粘住三个角给粘在腔室里的，所以我们能看到三个角上是没有铝的，然后开腔取片子时，我还特意测了一下高温胶带表面是否镀上铝了，发现高温胶带表面是短路导通的。这就说明高温胶带上面也镀上铝了啊。但是我们老板怀疑是镀的铝比较少，因为第一片背面做的是有结构的，很重要，所以现在实验就没法做了，很着急发暗的区域到底是怎么了，请前辈赐教啊，感激不尽！  IMG_20140626_215404.jpg  IMG_20140626_215501.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有260人回复
-
哈尔滨工程大学国家级青年人才-27年申请考核制博士招生（材料、化学、生物医学专业）
已经有13人回复
-
HRTEM/原位TEM/HRSTEM检测｜价格优·周期短·可加急
已经有0人回复
-
大家平时也可以交流下
已经有1人回复
-
ELSEVIER旗下投稿decision in process后with editor，应该如何理解
已经有45人回复
hrhhrh
木虫 (正式写手)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 2383.2
- 红花: 3
- 沙发: 1
- 帖子: 922
- 在线: 818.4小时
- 虫号: 3277872
- 注册: 2014-06-17
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
16楼2014-06-29 21:55:21
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2014-06-27 01:35:21
metaliium
银虫 (正式写手)
- 应助: 69 (初中生)
- 金币: 2368.1
- 散金: 25
- 红花: 12
- 帖子: 439
- 在线: 118.4小时
- 虫号: 1916175
- 注册: 2012-07-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2014-06-27 06:24:18
4楼2014-06-27 10:44:32
