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conquertju

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射电源问题 已有2人参与

直流磁控溅射镀钛,之前一直没问题,别人换靶材用之后也没问题,可是再换回钛靶材之后,电源就出问题了,即使电压加的很大,电流也非常小而且几乎不变,辉光非常弱,有木有人知道问题可能出在哪?
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138dong

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有电压无电流,电路短路了,重新安装一下靶材,注意相互之间的接触
书上有路勤为径
2楼2013-06-24 16:51:14
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conquertju

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 138dong at 2013-06-24 16:51:14
有电压无电流,电路短路了,重新安装一下靶材,注意相互之间的接触

短路的话,电流不是应该很大么?额,我原理不是很懂,求教
3楼2013-06-25 09:14:47
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yunxiaock

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
楼上说的应该是断路吧 接触不好
4楼2013-06-25 10:01:54
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conquertju

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yunxiaock at 2013-06-25 10:01:54
楼上说的应该是断路吧 接触不好

下午又试了下,现在的情况是:直流电源一打开,很快电压跳到275V,电流0.04A,而且电源吱吱响,再调只有电压增大,响声增大,电流不变,您知道这是什么状况么?
5楼2013-06-25 19:18:52
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smnh210

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
重新装一下靶材,估计是接触方面出了问题。
6楼2013-06-26 12:54:17
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138dong

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by conquertju at 2013-06-25 09:14:47
短路的话,电流不是应该很大么?额,我原理不是很懂,求教...

不好意思,当时看帖没看仔细,短路应该是电流大电压小不好意思,有电压无电流是断路,检查一下你的射频匹配器到离子枪的那根粗线
书上有路勤为径
7楼2013-06-28 14:15:40
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by conquertju at 2013-06-25 20:18:52
下午又试了下,现在的情况是:直流电源一打开,很快电压跳到275V,电流0.04A,而且电源吱吱响,再调只有电压增大,响声增大,电流不变,您知道这是什么状况么?...

是不是上个人用的时候,功率过大,把电源烧掉了?
电流小电压大,肯定是哪里断路了
8楼2013-11-08 15:39:52
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772954170

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

真空腔里还没起辉吧?把Ar调高一点先起辉。
9楼2013-12-26 23:42:22
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碳工

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可能是匹配问题吧!匹配电路在检查一遍!
10楼2014-07-06 10:14:00
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