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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 磁控溅射电源问题
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conquertju

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射电源问题 已有2人参与

直流磁控溅射镀钛，之前一直没问题，别人换靶材用之后也没问题，可是再换回钛靶材之后，电源就出问题了，即使电压加的很大，电流也非常小而且几乎不变，辉光非常弱，有木有人知道问题可能出在哪？
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1楼 2013-06-24 13:56:02
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138dong

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
有电压无电流，电路短路了，重新安装一下靶材，注意相互之间的接触
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书上有路勤为径
2楼2013-06-24 16:51:14
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conquertju

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 138dong at 2013-06-24 16:51:14
有电压无电流，电路短路了，重新安装一下靶材，注意相互之间的接触

短路的话，电流不是应该很大么？额，我原理不是很懂，求教
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3楼2013-06-25 09:14:47
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yunxiaock

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼上说的应该是断路吧 接触不好
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4楼2013-06-25 10:01:54
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conquertju

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yunxiaock at 2013-06-25 10:01:54
楼上说的应该是断路吧 接触不好

下午又试了下，现在的情况是：直流电源一打开，很快电压跳到275V，电流0.04A，而且电源吱吱响，再调只有电压增大，响声增大，电流不变，您知道这是什么状况么？
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5楼2013-06-25 19:18:52
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smnh210

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
重新装一下靶材，估计是接触方面出了问题。
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6楼2013-06-26 12:54:17
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138dong

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by conquertju at 2013-06-25 09:14:47
短路的话，电流不是应该很大么？额，我原理不是很懂，求教...

不好意思，当时看帖没看仔细，短路应该是电流大电压小不好意思，有电压无电流是断路，检查一下你的射频匹配器到离子枪的那根粗线
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书上有路勤为径
7楼2013-06-28 14:15:40
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by conquertju at 2013-06-25 20:18:52
下午又试了下，现在的情况是：直流电源一打开，很快电压跳到275V，电流0.04A，而且电源吱吱响，再调只有电压增大，响声增大，电流不变，您知道这是什么状况么？...

是不是上个人用的时候，功率过大，把电源烧掉了？
电流小电压大，肯定是哪里断路了
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8楼2013-11-08 15:39:52
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772954170

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

真空腔里还没起辉吧？把Ar调高一点先起辉。
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9楼2013-12-26 23:42:22
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碳工

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可能是匹配问题吧！匹配电路在检查一遍！
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10楼2014-07-06 10:14:00
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