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[交流]
磁控溅射的功率密度
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刚刚接触磁控溅射，有个问题祈望解答：磁控溅射的功率密度是如何计算的？ A: 功率密度=输出总功率/靶材总面积*100%； B:功率密度=输出总功率/靶材跑道区面积*100%。 不知道选哪个啊，无限纠结中，望解答。 在此谢过！  |
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烦躁
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2楼2013-06-11 19:24:54
4楼2013-06-12 10:05:20
6楼2013-07-08 09:51:36
7楼2013-10-10 08:42:15
8楼2014-01-23 17:29:55
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2013-06-11 22:12
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haixiawu5楼
2013-06-13 23:37
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