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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射的功率密度
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flame001

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射的功率密度

刚刚接触磁控溅射，有个问题祈望解答：磁控溅射的功率密度是如何计算的？
A: 功率密度=输出总功率/靶材总面积*100%；
B:功率密度=输出总功率/靶材跑道区面积*100%。
不知道选哪个啊，无限纠结中，望解答。
在此谢过！
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1楼 2013-06-10 17:26:22
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cristianwj

铜虫 (小有名气)
★
flame001(金币+1): 谢谢参与
我觉得应该是B，有效面积区域
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6楼2013-07-08 09:51:36
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
A，不同磁场，跑道不同，还不如统一标准，都算靶材面积呢
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8楼2014-01-23 17:29:55
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