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磁控溅射的功率密度
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flame001
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[交流]
磁控溅射的功率密度
刚刚接触磁控溅射,有个问题祈望解答:磁控溅射的功率密度是如何计算的?
A: 功率密度=输出总功率/靶材总面积*100%;
B:功率密度=输出总功率/靶材跑道区面积*100%。
不知道选哪个啊,无限纠结中,望解答。
在此谢过!
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