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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀的ZTO薄膜不导电
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lijidong

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀的ZTO薄膜不导电

我用的是射频磁控溅射，在硅片上溅射ZTO膜，溅射功率是100W，工作压强是2pa，氩气流量是15，室温，溅射时间为6分钟。靶材的成分SnO2质量分数为65%，ZnO质量分数为35%，结果溅射的膜不导电。请各位有经验的同胞们，给出各种原因和解释。
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1楼 2013-03-01 09:35:37
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-01 17:18:37
lijidong: 金币+5, ★有帮助 2013-03-02 09:21:04
压强这么大？还有，6min估计时间太短了，做出来的薄膜质量不好，测不出导电性也是可能的。建议你把工作压强调低点，溅射时间长点，因为你的功率本来就不是很打，射频溅射也是比较慢
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用绳命来搞科研
2楼2013-03-01 16:33:29
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dongjing_87

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-01 17:18:41
lijidong: 金币+1 2013-03-02 09:33:18
工作气压不同仪器是差别的   不过时间真短
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3楼2013-03-01 16:43:08
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lijidong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-03-01 16:33:29
压强这么大？还有，6min估计时间太短了，做出来的薄膜质量不好，测不出导电性也是可能的。建议你把工作压强调低点，溅射时间长点，因为你的功率本来就不是很打，射频溅射也是比较慢

请问你有没有做过溅射ZTO膜，做过的话，一般溅射压强是多少，时间是多少，功率是多少？一般最佳的溅射功率都是100W。我也准备改变条件重新做次实验，对了里面通的气体是纯氩气
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4楼2013-03-02 09:24:54
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lijidong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dongjing_87 at 2013-03-01 16:43:08
工作气压不同仪器是差别的   不过时间真短

谢谢支招，我的金币不多，给哥们的不多，多多包涵
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5楼2013-03-02 09:26:24
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by lijidong at 2013-03-02 09:24:54
请问你有没有做过溅射ZTO膜，做过的话，一般溅射压强是多少，时间是多少，功率是多少？一般最佳的溅射功率都是100W。我也准备改变条件重新做次实验，对了里面通的气体是纯氩气...

我做的都是AZO，至于ATO还没做过，具体的不清楚。其实溅射功率与靶材的大小也有关系的，你要看下是用2英寸的还是3英寸的
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用绳命来搞科研
6楼2013-03-04 09:40:23
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lijidong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-03-04 09:40:23
我做的都是AZO，至于ATO还没做过，具体的不清楚。其实溅射功率与靶材的大小也有关系的，你要看下是用2英寸的还是3英寸的...

靶材是两英寸的
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7楼2013-03-04 11:59:35
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
lijidong: 金币+1, ★有帮助 2013-03-04 18:30:49
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-04 22:09:39
导电率还是要看膜厚的情况吧。这个测了没？
功率大小和气压这些参数都是要为粒子能量服务的。基本上粒子到达基材的能量越大，性能越好。
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8楼2013-03-04 16:38:39
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lijidong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-04 16:38:39
导电率还是要看膜厚的情况吧。这个测了没？
功率大小和气压这些参数都是要为粒子能量服务的。基本上粒子到达基材的能量越大，性能越好。

膜厚还没测，目前测得是导电膜的电阻，还没测导电率，结果是电阻为无穷大。今天我又做了次实验，发现基底只有一侧导电，很神奇，不知为什么。望帮忙解答
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9楼2013-03-04 18:34:09
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

给多一点信息把。这些信息没有办法告诉你为什么。
不过你做导电膜最好在玻璃上作，wafer还是有导电性的。而且你的靶材也会有影响。看看你 的靶材电阻率多少？
靶材越导电越好。否则很难做出导电的膜层
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10楼2013-03-06 11:38:32
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