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我要做实验

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我也在做膜,导电性能也不好,但我做了一系列的膜,膜厚一点的电阻会小一些,还有就是工作压强一般都在1Pa以下,我每次的溅射时间大概在半小时左右,你可以把时间延长一下,然后再测一下电阻,当然影响薄膜电阻的因素很多,我也在不断摸索中
11楼2013-03-26 16:24:29
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-03-04 09:40:23
我做的都是AZO,至于ATO还没做过,具体的不清楚。其实溅射功率与靶材的大小也有关系的,你要看下是用2英寸的还是3英寸的...

楼主做AZO时的薄膜电阻一般多大?我最近做的薄膜居然有几兆欧,不明白为什么
黑暗中的光
12楼2013-12-05 20:03:09
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

引用回帖:
12楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 20:03:09
楼主做AZO时的薄膜电阻一般多大?我最近做的薄膜居然有几兆欧,不明白为什么...

我们先在做的AZO薄膜,好的话可以在3*10^-4,薄膜的电阻率和薄膜的厚度还是有关系的,不过几兆欧的话,可能就有点大了
用绳命来搞科研
13楼2013-12-05 20:15:21
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

引用回帖:
13楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-12-05 20:15:21
我们先在做的AZO薄膜,好的话可以在3*10^-4,薄膜的电阻率和薄膜的厚度还是有关系的,不过几兆欧的话,可能就有点大了...

所以小弟我很是困惑不解啊,呵呵,以后多多交流
黑暗中的光
14楼2013-12-05 22:16:16
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

引用回帖:
14楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 22:16:16
所以小弟我很是困惑不解啊,呵呵,以后多多交流...

相互学习!
用绳命来搞科研
15楼2013-12-06 11:21:23
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本帖内容被屏蔽

16楼2020-07-02 14:22:26
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