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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀的ZTO薄膜不导电
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我要做实验

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我也在做膜，导电性能也不好，但我做了一系列的膜，膜厚一点的电阻会小一些，还有就是工作压强一般都在1Pa以下，我每次的溅射时间大概在半小时左右，你可以把时间延长一下，然后再测一下电阻，当然影响薄膜电阻的因素很多，我也在不断摸索中
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11楼2013-03-26 16:24:29
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-03-04 09:40:23
我做的都是AZO，至于ATO还没做过，具体的不清楚。其实溅射功率与靶材的大小也有关系的，你要看下是用2英寸的还是3英寸的...

楼主做AZO时的薄膜电阻一般多大？我最近做的薄膜居然有几兆欧，不明白为什么
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黑暗中的光
12楼2013-12-05 20:03:09
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 20:03:09
楼主做AZO时的薄膜电阻一般多大？我最近做的薄膜居然有几兆欧，不明白为什么...

我们先在做的AZO薄膜，好的话可以在3*10^-4，薄膜的电阻率和薄膜的厚度还是有关系的，不过几兆欧的话，可能就有点大了
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用绳命来搞科研
13楼2013-12-05 20:15:21
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-12-05 20:15:21
我们先在做的AZO薄膜，好的话可以在3*10^-4，薄膜的电阻率和薄膜的厚度还是有关系的，不过几兆欧的话，可能就有点大了...

所以小弟我很是困惑不解啊，呵呵，以后多多交流
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黑暗中的光
14楼2013-12-05 22:16:16
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 22:16:16
所以小弟我很是困惑不解啊，呵呵，以后多多交流...

相互学习！
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用绳命来搞科研
15楼2013-12-06 11:21:23
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帅狗z

禁虫
本帖内容被屏蔽
16楼2020-07-02 14:22:26
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