应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀的ZTO薄膜不导电
51/1返回列表
查看: 2698  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

lijidong

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀的ZTO薄膜不导电

我用的是射频磁控溅射，在硅片上溅射ZTO膜，溅射功率是100W，工作压强是2pa，氩气流量是15，室温，溅射时间为6分钟。靶材的成分SnO2质量分数为65%，ZnO质量分数为35%，结果溅射的膜不导电。请各位有经验的同胞们，给出各种原因和解释。
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2013-03-01 09:35:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lijidong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-03-04 16:38:39
导电率还是要看膜厚的情况吧。这个测了没？
功率大小和气压这些参数都是要为粒子能量服务的。基本上粒子到达基材的能量越大，性能越好。

膜厚还没测，目前测得是导电膜的电阻，还没测导电率，结果是电阻为无穷大。今天我又做了次实验，发现基底只有一侧导电，很神奇，不知为什么。望帮忙解答
赞一下 回复此楼
9楼2013-03-04 18:34:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-01 17:18:37
lijidong: 金币+5, ★有帮助 2013-03-02 09:21:04
压强这么大？还有，6min估计时间太短了，做出来的薄膜质量不好，测不出导电性也是可能的。建议你把工作压强调低点，溅射时间长点，因为你的功率本来就不是很打，射频溅射也是比较慢
赞一下 回复此楼
用绳命来搞科研
2楼2013-03-01 16:33:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dongjing_87

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-01 17:18:41
lijidong: 金币+1 2013-03-02 09:33:18
工作气压不同仪器是差别的   不过时间真短
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-01 16:43:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lijidong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2013-03-01 16:33:29
压强这么大？还有，6min估计时间太短了，做出来的薄膜质量不好，测不出导电性也是可能的。建议你把工作压强调低点，溅射时间长点，因为你的功率本来就不是很打，射频溅射也是比较慢

请问你有没有做过溅射ZTO膜，做过的话，一般溅射压强是多少，时间是多少，功率是多少？一般最佳的溅射功率都是100W。我也准备改变条件重新做次实验，对了里面通的气体是纯氩气
赞一下 回复此楼
4楼2013-03-02 09:24:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[文学芳草园] 梦想 +5 myrtle 2026-08-26 5/250 2026-08-31 14:40 by hahaboy
[基金申请] 中青基了要发朋友圈吗？ +7 349506619 2026-08-28 7/350 2026-08-31 13:39 by 冼亮淀粉酶
[基金申请] 29号明天会评吗 +4 笨笨唐 2026-08-28 4/200 2026-08-31 09:30 by huixian257
[基金申请] 国社科又开始会评了，不知道这次命运如何 +6 雨打竹帘 2026-08-30 10/500 2026-08-31 09:29 by huixian257
[基金申请] 能否申诉？ +6 echo8914667 2026-08-30 7/350 2026-08-31 08:41 by kingkocxr
[基金申请] 为什么到现在没收到通知？ +5 tannykie 2026-08-29 5/250 2026-08-30 21:05 by purplejack
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见（F口面上） +6 gdd2018 2026-08-28 11/550 2026-08-30 08:58 by 超级无敌华子
[基金申请] 我就是申请一个面上项目而已，这评审意见是按照杰青的条件评的吧？ +6 gouxfjh 2026-08-28 11/550 2026-08-30 07:57 by gouxfjh
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +15 晴天加油 2026-08-26 16/800 2026-08-29 18:28 by symmetry
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高，自己申请怎么就这么难 +12 Kittylucky 2026-08-27 13/650 2026-08-29 00:04 by superceng
[基金申请] 系统查不到 +11 董八千 2026-08-26 11/550 2026-08-28 18:06 by Leogzhya
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 9/450 2026-08-28 11:06 by maolC
[基金申请] 哪位高人中了，把查询到的截图贴出来让我看看，让我长长见识 +5 yuleib84 2026-08-26 6/300 2026-08-28 00:02 by yudaoqian88
[基金申请] 面上合作单位盖章 +5 ssyjh 2026-08-27 5/250 2026-08-27 20:50 by gdfollow
[基金申请] 基金未中，这种答复是模板吗？ +5 zhaosm1982 2026-08-27 6/300 2026-08-27 16:00 by lfy8008
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +5 叶九微 2026-08-26 5/250 2026-08-27 10:35 by l_zh2008
[基金申请] 为什么 国际(地区)合作与交流项目 没有放榜？ 10+3 majunge000 2026-08-26 11/550 2026-08-27 08:42 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 国际合作可查了，中了面上 (EPI+1)(金币+50) +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 国合可查了 +3 paperzjh 2026-08-26 3/150 2026-08-26 10:41 by LemmonTr
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭