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磁控溅射如何确定电源类型
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qinxuesi
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磁控溅射如何确定电源类型
已有1人参与
本人将要进行磁控溅射方面的研究,但对其完全是新手,请问一下如何确定磁控溅射电源(直流电源or射频电源等等),比如纯Zn作为靶材应该选择什么电源呢?
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1楼
2015-01-10 21:47:58
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antorr
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导电的用直流电源,不导电的用射频电源,您的纯Zn靶用直流电源就可。
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2楼
2015-01-12 11:44:54
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yanglei839
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性别: GG
专业: 无机非金属类电介质与电解
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
金属和陶瓷均可用射频,导电用直流
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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hopeisagoodthing........
3楼
2015-01-13 19:51:26
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无关想念1234
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引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
antorr
at 2015-01-12 11:44:54
导电的用直流电源,不导电的用射频电源,您的纯Zn靶用直流电源就可。
一看就是行家
[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼
2015-01-19 22:33:16
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KMMZS
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K-mate射频电源可以用,国产的,可以拉动拉动内需呢
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5楼
2015-04-27 10:19:23
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