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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事？
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chengzhi2103

银虫 (著名写手)

[求助] 磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事？

我现在用磁控溅射镀膜 但是直流电源的电流调不上去，电压也很小

氩气流量比较小的时候，电压反应很灵敏，能调上去，电流调不上去

加大氩气流量后，电流会稍微增加一点，但是很小，电压也小，腔室内一直闪，打火，起辉不了

哪位高手能帮忙解释一下是怎么回事啊？O(∩_∩)O谢谢啊
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世界上最永恒的幸福就是平凡，人生中最长久的拥有就是珍惜。
1楼 2011-10-20 12:45:27
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
是不是到最大功率了？
设备极限了吧
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2楼2011-10-20 20:12:09
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ycnjzy

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
chengzhi2103(金币+9): 2011-10-25 10:38:49
wbcui(金币+2): 鼓励一下，多谢参与！ 2011-10-25 21:58:38
我不知道什么原因，不过我的经验是先把气压调到2.0Pa,给一个初始功率，起辉后调节功率（随意调节），最后把气压调低就OK了。
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阳光总在风雨后
3楼2011-10-20 21:19:22
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chengzhi2103

银虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2011-10-20 20:12:09:
是不是到最大功率了？
设备极限了吧

不是的，是电流很小，调不上去
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世界上最永恒的幸福就是平凡，人生中最长久的拥有就是珍惜。
4楼2011-10-25 10:32:10
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chengzhi2103

银虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ycnjzy at 2011-10-20 21:19:22:
我不知道什么原因，不过我的经验是先把气压调到2.0Pa,给一个初始功率，起辉后调节功率（随意调节），最后把气压调低就OK了。

呃，氩气气压升高后，确实能把电流调上去，现在能调上去了，而且基本稳定了，可能是电源大半年没用了所以调不上去吧
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世界上最永恒的幸福就是平凡，人生中最长久的拥有就是珍惜。
5楼2011-10-25 10:33:44
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我生气了哈

新虫 (初入文坛)
我们的设备出现闪辉现象是怎么回事，有高手能解答一下吗？
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6楼2012-09-10 14:41:12
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916941518

银虫 (小有名气)
预溅射时间长一点，除去靶材表面氧化物试试看
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7楼2014-07-06 17:15:41
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