24小时热门版块排行榜    

查看: 2723  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

chengzhi2103

银虫 (著名写手)

[求助] 磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事?

我现在用磁控溅射镀膜 但是直流电源的电流调不上去,电压也很小

氩气流量比较小的时候,电压反应很灵敏,能调上去,电流调不上去

加大氩气流量后,电流会稍微增加一点,但是很小,电压也小,腔室内一直闪,打火,起辉不了

哪位高手能帮忙解释一下是怎么回事啊?O(∩_∩)O谢谢啊
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

世界上最永恒的幸福就是平凡,人生中最长久的拥有就是珍惜。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ycnjzy

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
chengzhi2103(金币+9): 2011-10-25 10:38:49
wbcui(金币+2): 鼓励一下,多谢参与! 2011-10-25 21:58:38
我不知道什么原因,不过我的经验是先把气压调到2.0Pa,给一个初始功率,起辉后调节功率(随意调节),最后把气压调低就OK了。
阳光总在风雨后
3楼2011-10-20 21:19:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

是不是到最大功率了?
设备极限了吧
2楼2011-10-20 20:12:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chengzhi2103

银虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2011-10-20 20:12:09:
是不是到最大功率了?
设备极限了吧

不是的,是电流很小,调不上去
世界上最永恒的幸福就是平凡,人生中最长久的拥有就是珍惜。
4楼2011-10-25 10:32:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chengzhi2103

银虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ycnjzy at 2011-10-20 21:19:22:
我不知道什么原因,不过我的经验是先把气压调到2.0Pa,给一个初始功率,起辉后调节功率(随意调节),最后把气压调低就OK了。

呃,氩气气压升高后,确实能把电流调上去,现在能调上去了,而且基本稳定了,可能是电源大半年没用了所以调不上去吧
世界上最永恒的幸福就是平凡,人生中最长久的拥有就是珍惜。
5楼2011-10-25 10:33:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高,自己申请怎么就这么难 +5 Kittylucky 2026-08-27 5/250 2026-08-27 12:10 by 姜太公烤鱼
[教师之家] 导师吐槽:我怎么摊上了这么个极品研究生! +5 苏东坡二世 2026-08-23 5/250 2026-08-27 10:39 by 炜雨
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +5 叶九微 2026-08-26 5/250 2026-08-27 10:35 by l_zh2008
[基金申请] 看板上这么多中的,有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +4 a089 2026-08-26 5/250 2026-08-27 09:24 by Howard28
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 LIbGuocjEEYw 2026-08-26 4/200 2026-08-27 02:01 by Ie9AyIAvGbvs
[基金申请] 系统查不到 +10 董八千 2026-08-26 10/500 2026-08-26 16:30 by Equinoxhua
[基金申请] 怎么查啊 +5 huang1991js 2026-08-26 5/250 2026-08-26 16:09 by Equinoxhua
[基金申请] 2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件,有关系吗? +25 木水思豆 2026-08-25 28/1400 2026-08-26 14:53 by draco1987
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 国合里面能看到了 +7 一怀馨秋 2026-08-26 7/350 2026-08-26 11:23 by zhaosm1982
[基金申请] 项目信息和经费信息在系统里都可以看到了 +6 wittyboy 2026-08-26 14/700 2026-08-26 10:55 by wittyboy
[基金申请] 今天务委会开完了,明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
[基金申请] 明天应该可查了!? +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 某些机构,以效率低为荣,以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
[基金申请] 人气不行了 +11 fansofjerry 2026-08-21 11/550 2026-08-25 11:04 by 孤独的英雄6
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
信息提示
请填处理意见