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chengzhi2103银虫 (著名写手)
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磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事？
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我现在用磁控溅射镀膜 但是直流电源的电流调不上去，电压也很小 氩气流量比较小的时候，电压反应很灵敏，能调上去，电流调不上去 加大氩气流量后，电流会稍微增加一点，但是很小，电压也小，腔室内一直闪，打火，起辉不了 哪位高手能帮忙解释一下是怎么回事啊？O(∩_∩)O谢谢啊 |
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