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chengzhi2103

银虫 (著名写手)

[求助] 磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事?

我现在用磁控溅射镀膜 但是直流电源的电流调不上去,电压也很小

氩气流量比较小的时候,电压反应很灵敏,能调上去,电流调不上去

加大氩气流量后,电流会稍微增加一点,但是很小,电压也小,腔室内一直闪,打火,起辉不了

哪位高手能帮忙解释一下是怎么回事啊?O(∩_∩)O谢谢啊
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世界上最永恒的幸福就是平凡,人生中最长久的拥有就是珍惜。
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916941518

银虫 (小有名气)

预溅射时间长一点,除去靶材表面氧化物试试看
7楼2014-07-06 17:15:41
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查看全部 7 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

是不是到最大功率了?
设备极限了吧
2楼2011-10-20 20:12:09
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ycnjzy

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
chengzhi2103(金币+9): 2011-10-25 10:38:49
wbcui(金币+2): 鼓励一下,多谢参与! 2011-10-25 21:58:38
我不知道什么原因,不过我的经验是先把气压调到2.0Pa,给一个初始功率,起辉后调节功率(随意调节),最后把气压调低就OK了。
阳光总在风雨后
3楼2011-10-20 21:19:22
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chengzhi2103

银虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2011-10-20 20:12:09:
是不是到最大功率了?
设备极限了吧

不是的,是电流很小,调不上去
世界上最永恒的幸福就是平凡,人生中最长久的拥有就是珍惜。
4楼2011-10-25 10:32:10
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