| 查看: 1778 | 回复: 21 | |||
[交流]
射频磁控溅射功率问题
|
|||
|
大家好.我请教两个射频磁控溅射功率问题. 1.在用射频电源的时候,一般电压表显示80 V时,电流表显示100 mA走有,按照功率P=UI 的计算功率的话,溅射功率只有8W.但是,实际的功率表却显示溅射功率在110W左右.这是怎么情况呢. 2.是不是射频溅射才有自偏压? 我理解的自偏压就是阴极位降区与阴极靶之间的电压. |
回复此楼» 猜你喜欢
成都大学招收26级材料工程调剂生
已经有2人回复
-
08工学-一作ACS AMI（IF 8.2）｜物理团簇背景｜求长三角/山东地区团簇、催化方向调剂
已经有2人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有88人回复
-
江西理工大学2026年博士研究生招生公告
已经有0人回复
-
江西理工大学熊仕显教授团队2026年博士研究生招生公告
已经有0人回复
-
江西理工大学熊仕显教授团队2026年博士研究生招生公告
已经有0人回复
-
招收0805（材料）调剂
已经有0人回复
-
招收0805（材料）调剂
已经有3人回复
-
EBSD极图和反极图怎么看
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助射频磁控溅射氧化镁的方法
已经有3人回复
- 磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！
已经有5人回复
- 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
已经有33人回复
- ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率
已经有7人回复
- 磁控溅射TiN的颜色问题
已经有8人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
已经有18人回复
- Sputter磁控溅射的设置单位问题
已经有9人回复
- 磁控溅射台真空度问题
已经有11人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
已经有11人回复
- 万分火急：求助射频溅射镀膜问题
已经有3人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
【技术服务】研究所横向技术开发及服务
+1/99
-
浙江农林大学招收调剂
+1/81
-
何时使用 CODA™ 科里奥利质量流量仪表- 艾里卡特（Alicat）
+2/52
-
0854电子信息调剂，集成电路，芯片方向，闽南师范大学光电芯片研发实验室
+1/31
-
招硕士调剂生
+2/30
-
国家级领军人才团队高分子材料方向2026年博士研究生招生
+1/16
-
学术/专业硕士调剂——化学、资源与环境
+1/15
-
上海交通大学药学院高杨课题组诚聘博士后
+1/14
-
山东省植物基蛋白技术创新中心课题组联合培养硕士研究生招募启事
+1/12
-
福州大学国家级人才汤育欣教授课题组2026年招收”申请考核制“储能电池方向博士研究生
+1/9
-
食品科学与工程083200-297分
+1/8
-
重庆大学诚招2026年生物材料方向博士生
+1/8
-
哈尔滨理工大学材料与化学工程学院 纳米功能材料与光电催化团队 招收硕士研究生
+1/7
-
青岛科技大学可持续高分子团队 考研招生
+1/7
-
26年申博自荐-计算机视觉
+1/6
-
上海第二工业大学-朱大海课题组招生（过线就能调剂）
+1/5
-
海南大学徐月山老师招生第二批博士名额2~3个，2026年9月份入学（高端设备开发方向）
+1/3
-
求推荐性价比好用的球磨罐
+1/3
-
重庆交通大学山区桥梁及隧道工程国家重点实验室——Smart Concrete Lab招生
+1/2
-
085404 270求调剂，b区求导师收留接受跨专业
+1/2
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
本帖内容被屏蔽 |
22楼2014-06-19 10:24:14
简单回复
wangkj2楼
2014-04-17 16:27
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
t
xiejf3楼
2014-04-17 16:27
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
1
2014-04-17 16:46
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
kingki5楼
2014-04-17 16:51
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
假大空6楼
2014-04-17 16:52
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
2014-04-17 17:34
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
三闲斋主8楼
2014-04-17 17:37
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
卡欣9楼
2014-04-17 17:39
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
readytogo10楼
2014-04-17 17:52
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
userhung11楼
2014-04-17 18:03
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
yaoyao14512楼
2014-04-17 18:05
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
lihh_chf13楼
2014-04-17 18:14
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
cxjzly200814楼
2014-04-17 18:17
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
tzynew15楼
2014-04-17 18:43
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
xh201116楼
2014-04-17 18:49
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
无为之人17楼
2014-04-17 18:51
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
Monash201118楼
2014-04-17 19:12
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
henry83519楼
2014-04-17 20:36
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
110911030020楼
2014-04-17 21:34
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
雪人哥哥21楼
2014-04-17 22:00
回复
十点人来疯(金币+1): 谢谢参与
