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十点人来疯

银虫 (小有名气)

[交流] 射频磁控溅射功率问题

大家好.我请教两个射频磁控溅射功率问题.

1.在用射频电源的时候,一般电压表显示80 V时,电流表显示100 mA走有,按照功率P=UI 的计算功率的话,溅射功率只有8W.但是,实际的功率表却显示溅射功率在110W左右.这是怎么情况呢.

2.是不是射频溅射才有自偏压? 我理解的自偏压就是阴极位降区与阴极靶之间的电压.
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1楼 2014-04-17 15:48:21
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射频圆圆

禁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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22楼2014-06-19 10:24:14
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wangkj2楼
2014-04-17 16:27   回复  
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t
xiejf3楼
2014-04-17 16:27   回复  
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1
kiss200855374楼
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kingki5楼
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假大空6楼
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dongleiwolf7楼
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三闲斋主8楼
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！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
卡欣9楼
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readytogo10楼
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userhung11楼
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yaoyao14512楼
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lihh_chf13楼
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cxjzly200814楼
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xh201116楼
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Monash201118楼
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henry83519楼
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雪人哥哥21楼
2014-04-17 22:00   回复  
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