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射频磁控溅射功率问题
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大家好.我请教两个射频磁控溅射功率问题. 1.在用射频电源的时候,一般电压表显示80 V时,电流表显示100 mA走有,按照功率P=UI 的计算功率的话,溅射功率只有8W.但是,实际的功率表却显示溅射功率在110W左右.这是怎么情况呢. 2.是不是射频溅射才有自偏压? 我理解的自偏压就是阴极位降区与阴极靶之间的电压. |
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