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1014488092

新虫 (初入文坛)

[求助] ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率

ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率是多少,现在在用射频磁控溅射仪镀ITO,可是电阻率是十的负二次方,可能是什么原因造成的?
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我想知道,电阻率应该是多少?
哈哈哈哈,来吧
2楼2013-10-16 06:49:12
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小风12

金虫 (正式写手)

我也想知道啊。。。
tranqulity
3楼2013-10-16 16:30:22
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1014488092

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jeremyfrc at 2013-10-16 06:49:12
我想知道,电阻率应该是多少?

我们镀ITO ,要求的电阻率是十的负四次方,现在电阻率大很多啊。。。
4楼2013-10-16 16:32:01
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


314977903: 金币+1, 感谢参与应助! 2013-10-17 12:34:39
引用回帖:
4楼: Originally posted by 1014488092 at 2013-10-16 01:32:01
我们镀ITO ,要求的电阻率是十的负四次方,现在电阻率大很多啊。。。...

你要不要考虑组分比?还有就是你镀不同的厚度看看有没有什么变化趋势?
哈哈哈哈,来吧
5楼2013-10-17 01:12:34
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xunmengyuan

禁虫 (正式写手)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

6楼2013-10-18 11:49:18
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linxi5925

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

通氧气了吗,如果用了,可能是氧气流量过大。如果没用,使用更低的底压试试
7楼2013-11-10 20:23:30
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xyy3690

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

看你调的电流,电压上去了,就算啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
8楼2013-11-13 03:45:00
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