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gallantalan金虫 (正式写手)
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[求助]
在PMMA上溅射的ITO薄膜求助 已有2人参与
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| PMMA旋涂在衬底上，烘干条件是120度 1小时， 然后在上面溅射一层ITO薄膜，大约100nm。然后我退火100度 200度 300度，ITO薄膜都会裂开。请问这是为什么？ |
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