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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 在PMMA上溅射的ITO薄膜求助
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gallantalan

金虫 (正式写手)

[求助] 在PMMA上溅射的ITO薄膜求助 已有2人参与

PMMA旋涂在衬底上，烘干条件是120度 1小时， 然后在上面溅射一层ITO薄膜，大约100nm。然后我退火100度 200度 300度，ITO薄膜都会裂开。请问这是为什么？
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1楼 2013-06-01 13:37:51
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gallantalan

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by shixinbxh at 2013-06-01 19:16:26
ITO不耐高温，你试试FTO吧

我在玻璃上长得ITO薄膜  300度退火 没有问题啊
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3楼2013-06-01 22:18:30
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shixinbxh

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
gallantalan: 金币+1 2013-06-01 22:17:38
ITO不耐高温，你试试FTO吧
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2楼2013-06-01 19:16:26
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whlnncrystal

金虫 (小有名气)
ITO的热膨胀系数和PMMA的热膨胀系数相差较大，解决的办法无非是降低温度或者缩小热膨胀系数差值，改变PMMA的热膨胀系数可以在PMMA中添加含树枝状大分子的相容聚合物
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4楼2013-06-02 14:35:33
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gallantalan: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-06-03 15:28:07
应该是PMMA膜的问题，把厚度调整小，平整度弄好点一点试一试
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我~心~依~旧
5楼2013-06-02 20:41:19
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