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gallantalan

金虫 (正式写手)

[求助] 在PMMA上溅射的ITO薄膜求助 已有2人参与

PMMA旋涂在衬底上,烘干条件是120度 1小时, 然后在上面溅射一层ITO薄膜,大约100nm。然后我退火100度 200度 300度,ITO薄膜都会裂开。请问这是为什么?
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whlnncrystal

金虫 (小有名气)

ITO的热膨胀系数和PMMA的热膨胀系数相差较大,解决的办法无非是降低温度或者缩小热膨胀系数差值,改变PMMA的热膨胀系数可以在PMMA中添加含树枝状大分子的相容聚合物
4楼2013-06-02 14:35:33
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普通回帖

shixinbxh

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
gallantalan: 金币+1 2013-06-01 22:17:38
ITO不耐高温,你试试FTO吧
2楼2013-06-01 19:16:26
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gallantalan

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by shixinbxh at 2013-06-01 19:16:26
ITO不耐高温,你试试FTO吧

我在玻璃上长得ITO薄膜  300度退火 没有问题啊
3楼2013-06-01 22:18:30
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
gallantalan: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-06-03 15:28:07
应该是PMMA膜的问题,把厚度调整小,平整度弄好点一点试一试
我~心~依~旧
5楼2013-06-02 20:41:19
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

你可以用显微镜观看,主要是你ITO下面那层衬底裂开了
你溅射ITO的温度过高,使下面那层衬底裂开,建议低温溅射
6楼2013-12-05 11:18:24
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cz20727

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

PMMA的熔程不到200度,你加热到200,300,还不熔融了?PMMA是属于普通塑料,很容易热降解,不耐高温。
7楼2014-07-12 11:04:52
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nilelixp

木虫 (小有名气)

你好,有个问题想确认一下,建设的过程中PMMA会不会因为局部高温熔化了。我也想用这个办法做,但是负责设备的老师说有这个疑虑不太敢放进去做
选一城终老,择一人白首
8楼2014-10-22 15:47:31
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huimujushi

新虫 (初入文坛)

请问楼主哪个学校?溅射多少钱?

发自小木虫IOS客户端
9楼2016-04-08 21:11:51
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wjx513513

铜虫 (小有名气)

10楼2016-04-15 00:44:02
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