| 查看: 2090 | 回复: 10 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
gallantalan金虫 (正式写手)
|
[求助]
在PMMA上溅射的ITO薄膜求助已有2人参与
|
||
| PMMA旋涂在衬底上，烘干条件是120度 1小时， 然后在上面溅射一层ITO薄膜，大约100nm。然后我退火100度 200度 300度，ITO薄膜都会裂开。请问这是为什么？ |
回复此楼
whlnncrystal
金虫 (小有名气)
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 1195.3
- 散金: 100
- 红花: 6
- 帖子: 228
- 在线: 341.2小时
- 虫号: 1362895
- 注册: 2011-08-07
- 性别: GG
- 专业: 无机纳米化学
4楼2013-06-02 14:35:33
2楼2013-06-01 19:16:26
gallantalan
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 882.4
- 散金: 314
- 帖子: 419
- 在线: 87.8小时
- 虫号: 1249602
- 注册: 2011-03-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
3楼2013-06-01 22:18:30
yuan999
专家顾问 (知名作家)
-
专家经验: +355 - MN-EPI: 1
- 应助: 1293 (讲师)
- 贵宾: 0.247
- 金币: 21551.6
- 散金: 98
- 红花: 19
- 帖子: 6247
- 在线: 617.6小时
- 虫号: 591578
- 注册: 2008-09-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
- 管辖: 微米和纳米
5楼2013-06-02 20:41:19