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gallantalan

金虫 (正式写手)

[求助] 在PMMA上溅射的ITO薄膜求助 已有2人参与

PMMA旋涂在衬底上,烘干条件是120度 1小时, 然后在上面溅射一层ITO薄膜,大约100nm。然后我退火100度 200度 300度,ITO薄膜都会裂开。请问这是为什么?
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

你可以用显微镜观看,主要是你ITO下面那层衬底裂开了
你溅射ITO的温度过高,使下面那层衬底裂开,建议低温溅射
6楼2013-12-05 11:18:24
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shixinbxh

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
gallantalan: 金币+1 2013-06-01 22:17:38
ITO不耐高温,你试试FTO吧
2楼2013-06-01 19:16:26
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gallantalan

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by shixinbxh at 2013-06-01 19:16:26
ITO不耐高温,你试试FTO吧

我在玻璃上长得ITO薄膜  300度退火 没有问题啊
3楼2013-06-01 22:18:30
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whlnncrystal

金虫 (小有名气)

ITO的热膨胀系数和PMMA的热膨胀系数相差较大,解决的办法无非是降低温度或者缩小热膨胀系数差值,改变PMMA的热膨胀系数可以在PMMA中添加含树枝状大分子的相容聚合物
4楼2013-06-02 14:35:33
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