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gallantalan金虫 (正式写手)
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在PMMA上溅射的ITO薄膜求助已有2人参与
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| PMMA旋涂在衬底上，烘干条件是120度 1小时， 然后在上面溅射一层ITO薄膜，大约100nm。然后我退火100度 200度 300度，ITO薄膜都会裂开。请问这是为什么？ |
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尘隐土
木虫 (正式写手)
贫困区
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6楼2013-12-05 11:18:24
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gallantalan
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whlnncrystal
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4楼2013-06-02 14:35:33