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1014488092

新虫 (初入文坛)

[求助] ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率

ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率是多少，现在在用射频磁控溅射仪镀ITO，可是电阻率是十的负二次方，可能是什么原因造成的？
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1楼2013-10-15 22:19:23
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linxi5925

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

通氧气了吗，如果用了，可能是氧气流量过大。如果没用，使用更低的底压试试
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7楼2013-11-10 20:23:30
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我想知道，电阻率应该是多少？
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哈哈哈哈，来吧
2楼2013-10-16 06:49:12
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小风12

金虫 (正式写手)
我也想知道啊。。。
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tranqulity
3楼2013-10-16 16:30:22
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1014488092

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jeremyfrc at 2013-10-16 06:49:12
我想知道，电阻率应该是多少？

我们镀ITO ,要求的电阻率是十的负四次方，现在电阻率大很多啊。。。
赞一下 回复此楼
4楼2013-10-16 16:32:01
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