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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » ITO靶材的溅射放电弧
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flame001

银虫 (小有名气)

[交流] ITO靶材的溅射放电弧 已有4人参与

最近做了一块ITO靶，外送进行镀膜试验（自己没有镀膜机），溅射1h后没有打弧放电现象。这个是不是意味着靶材质量还可以？
测试方不肯再做下去了，说是太耗费时间，也不肯收费做。
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1楼 2013-04-12 11:40:17
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陈吉喆

铁虫 (小有名气)
★ ★
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nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫， 2013-04-12 17:58:37
最好是在做一下 ，想各种办法做一下，一次实验肯定是不可靠的！
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2楼2013-04-12 16:48:21
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flame001

银虫 (小有名气)
谢谢楼上，你有经验吗？我是刚入手，希望多交流。
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3楼2013-04-12 17:48:38
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虫子学飞

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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flame001
4楼2013-04-14 00:22:08
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没有严重的打弧，未必也没有微弧哦。要看ITO镀出来的膜层效果才能知道靶材质量是否好坏，其中重要的参数是膜层的电阻率跟透光率。
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再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
5楼2013-04-15 00:28:50
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flame001

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by minglight9 at 2013-04-15 00:28:50
没有严重的打弧，未必也没有微弧哦。要看ITO镀出来的膜层效果才能知道靶材质量是否好坏，其中重要的参数是膜层的电阻率跟透光率。

嗯，现阶段我就看它打不打弧，不知道国外的（比如日本靶材）使用多长时间后出现打弧现象，国内一般靶材使用多长时间打弧？纯新手，迷惑中。
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6楼2013-04-16 14:53:26
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flame001

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by 虫子学飞 at 2013-04-14 00:22:08
我们实验室有磁控溅射

请问兄台在哪个学校？可否对外服务？
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7楼2013-04-16 14:55:19
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
★
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引用回帖:
6楼: Originally posted by flame001 at 2013-04-16 14:53:26
嗯，现阶段我就看它打不打弧，不知道国外的（比如日本靶材）使用多长时间后出现打弧现象，国内一般靶材使用多长时间打弧？纯新手，迷惑中。...

这个看靶材工艺了，靶材不够致密的话，打弧是很容易产生的。如果你的电源有打弧抑制功能，也许就得到很好的结果。
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再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
8楼2013-04-16 14:56:16
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虫子学飞

禁虫 (正式写手)
★
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9楼2013-04-16 17:12:07
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flame001

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by minglight9 at 2013-04-16 14:56:16
这个看靶材工艺了，靶材不够致密的话，打弧是很容易产生的。如果你的电源有打弧抑制功能，也许就得到很好的结果。...

密度还是可以的，99.7%
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10楼2013-04-17 09:20:54
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