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ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率
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| ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率是多少,现在在用射频磁控溅射仪镀ITO,可是电阻率是十的负二次方,可能是什么原因造成的? |
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小风12
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- 专业: 半导体材料

3楼2013-10-16 16:30:22

2楼2013-10-16 06:49:12
4楼2013-10-16 16:32:01

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