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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率
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1014488092

新虫 (初入文坛)

[求助] ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率

ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率是多少，现在在用射频磁控溅射仪镀ITO，可是电阻率是十的负二次方，可能是什么原因造成的？
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1楼 2013-10-15 22:19:23
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我想知道，电阻率应该是多少？
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哈哈哈哈，来吧
2楼2013-10-16 06:49:12
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小风12

金虫 (正式写手)
我也想知道啊。。。
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tranqulity
3楼2013-10-16 16:30:22
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1014488092

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jeremyfrc at 2013-10-16 06:49:12
我想知道，电阻率应该是多少？

我们镀ITO ,要求的电阻率是十的负四次方，现在电阻率大很多啊。。。
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4楼2013-10-16 16:32:01
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
314977903: 金币+1, 感谢参与应助！ 2013-10-17 12:34:39
引用回帖:
4楼: Originally posted by 1014488092 at 2013-10-16 01:32:01
我们镀ITO ,要求的电阻率是十的负四次方，现在电阻率大很多啊。。。...

你要不要考虑组分比？还有就是你镀不同的厚度看看有没有什么变化趋势？
赞一下 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
5楼2013-10-17 01:12:34
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xunmengyuan

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
6楼2013-10-18 11:49:18
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linxi5925

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

通氧气了吗，如果用了，可能是氧气流量过大。如果没用，使用更低的底压试试
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7楼2013-11-10 20:23:30
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xyy3690

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

看你调的电流，电压上去了，就算啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2013-11-13 03:45:00
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