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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 氧化铝----陶瓷和单晶---磁控溅射
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ncepuchen

银虫 (正式写手)

[求助] 氧化铝----陶瓷和单晶---磁控溅射

哪位大侠能够系统的介绍一下氧化铝？主要是它的形态。
磁控溅射中，用陶瓷的好，还是用单晶的好，陶瓷的可能会出现断裂，两者的镀膜质量和镀出来的氧化铝膜形态一样吗？
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知识的价值在于为创造想象，为我所用
1楼 2012-09-07 09:38:34
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ncepuchen: 金币+2, ★★★★★最佳答案 2012-09-07 14:48:18
氧化铝的形态？不清楚你要问什么
磁控溅射做氧化铝膜没有单晶靶，一般都是铝靶反应溅射，氧化铝陶瓷做靶材对电源要求比较高，两者镀膜质量一般来说陶瓷的好，但沉积速率慢，设备靶材都贵一些，铝靶控制上要求高，控制得好薄膜质量与陶瓷靶没什么差别，两种方法沉积的氧化铝都有非晶成分，需要退火改善
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ncepuchen
2楼2012-09-07 13:08:06
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
ncepuchen: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 很专业 2012-09-12 21:30:28
引用回帖:
7楼: Originally posted by ncepuchen at 2012-09-11 23:27:54
请问氧化铝陶瓷对电源要求高，是指要用射频电源对吧？铝靶反应溅射，怎样能精确的控制O的含量呢，是不是一边镀铝一边氧化？...

氧化铝陶瓷不导电，是要用RF的，如果是铝靶反应溅射，其实是可以认为是陶瓷靶与金属靶之间的过渡模式，过程说起来是比较复杂的，一方面O离子也会像Ar离子一样参与轰击铝靶，一方面铝靶表面部分被氧化。溅射出来的Al原子和扩散到衬底上的O通过吸附和迁移最终结合起来，基本上不能控制O含量，但也不至于会偏离化学剂量比很多
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8楼2012-09-12 00:21:11
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
ncepuchen: 金币+3, ★★★★★最佳答案 2012-09-13 12:32:22
引用回帖:
10楼: Originally posted by ncepuchen at 2012-09-12 21:49:21
谢谢你的回复，朋友！分析的很专业，一定有很多做磁控溅射的经验吧，不是书上能讲的了得！
由于我们实验室现有的设备是直流的，暂时没有增加射频电源的打算，所以要从铝靶下手，那么就是要配备O2和Ar的气路和流量 ...

不同的设备最好还是自己摸索一下，如果直流我觉得Ar流量可以先参考你们沉积铝膜的流量，O2流量多少会影响到靶表面氧化程度，氧化程度高靶表面不导电的区域会聚集电荷放电，当让更高会引起靶中毒，所以需要自己观察和调节，关于退火，我建议你如果有条件就比较一下氧气和空气下有无差别，温度时间还是要去试的，我记得ALD沉积氧化铝一般是在反应气体环境下400到450度退火的
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11楼2012-09-12 22:26:29
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wu1008

金虫 (著名写手)
氧化铝单晶作溅射靶材？lz有钱人！
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3楼2012-09-07 14:38:12
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ncepuchen

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-09-07 13:08:06
氧化铝的形态？不清楚你要问什么
磁控溅射做氧化铝膜没有单晶靶，一般都是铝靶反应溅射，氧化铝陶瓷做靶材对电源要求比较高，两者镀膜质量一般来说陶瓷的好，但沉积速率慢，设备靶材都贵一些，铝靶控制上要求高，控 ...

主要是想用Al2O3来做衬底，并在上面镀Fe的催化剂颗粒，Al2O3能起到良好的限制Fe颗粒的粒径，所以想知道磁控溅射做的Al2O3最表面是什么形貌，铝空气中自然氧化也会形成Al2O3膜，用热蒸发镀铝之后再退火处理也会得到Al2O3膜,所以想知道它们的不同？
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知识的价值在于为创造想象，为我所用
4楼2012-09-07 14:55:22
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ncepuchen

银虫 (正式写手)
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3楼: Originally posted by wu1008 at 2012-09-07 14:38:12
氧化铝单晶作溅射靶材？lz有钱人！

不是的，没有那么贵，陶瓷的Al2O3靶材要比单晶的贵，问了价格，大部分800块就可以买54mm*3mm的靶材了，陶瓷的差不多1200左右，那你们都是怎么镀氧化铝的，盼望良方
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知识的价值在于为创造想象，为我所用
5楼2012-09-07 14:58:58
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
5楼: Originally posted by ncepuchen at 2012-09-07 14:58:58
不是的，没有那么贵，陶瓷的Al2O3靶材要比单晶的贵，问了价格，大部分800块就可以买54mm*3mm的靶材了，陶瓷的差不多1200左右，那你们都是怎么镀氧化铝的，盼望良方...

我们用陶瓷靶。

Al2O3不是蓝宝石吗？蓝宝石晶体很贵的好不？我们学校就有老师长蓝宝石晶体。你确定800块能买下一块蓝宝石单晶？
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6楼2012-09-07 15:19:16
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ncepuchen

银虫 (正式写手)
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2楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-09-07 13:08:06
氧化铝的形态？不清楚你要问什么
磁控溅射做氧化铝膜没有单晶靶，一般都是铝靶反应溅射，氧化铝陶瓷做靶材对电源要求比较高，两者镀膜质量一般来说陶瓷的好，但沉积速率慢，设备靶材都贵一些，铝靶控制上要求高，控 ...

请问氧化铝陶瓷对电源要求高，是指要用射频电源对吧？铝靶反应溅射，怎样能精确的控制O的含量呢，是不是一边镀铝一边氧化？
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知识的价值在于为创造想象，为我所用
7楼2012-09-11 23:27:54
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ncepuchen

银虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wu1008 at 2012-09-07 15:19:16
我们用陶瓷靶。

Al2O3不是蓝宝石吗？蓝宝石晶体很贵的好不？我们学校就有老师长蓝宝石晶体。你确定800块能买下一块蓝宝石单晶？...

对，我听上海光机所的老师报的价格
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知识的价值在于为创造想象，为我所用
9楼2012-09-12 21:34:07
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ncepuchen

银虫 (正式写手)
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8楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-09-12 00:21:11
氧化铝陶瓷不导电，是要用RF的，如果是铝靶反应溅射，其实是可以认为是陶瓷靶与金属靶之间的过渡模式，过程说起来是比较复杂的，一方面O离子也会像Ar离子一样参与轰击铝靶，一方面铝靶表面部分被氧化。溅射出来的A ...

谢谢你的回复，朋友！分析的很专业，一定有很多做磁控溅射的经验吧，不是书上能讲的了得！
由于我们实验室现有的设备是直流的，暂时没有增加射频电源的打算，所以要从铝靶下手，那么就是要配备O2和Ar的气路和流量计了对吧？两者的流量比应该在什么范围更好呢？对退火这块，您有什么好的建议
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10楼2012-09-12 21:49:21
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