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氧化铝----陶瓷和单晶---磁控溅射
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哪位大侠能够系统的介绍一下氧化铝？主要是它的形态。 磁控溅射中，用陶瓷的好，还是用单晶的好，陶瓷的可能会出现断裂，两者的镀膜质量和镀出来的氧化铝膜形态一样吗？ |
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