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ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率
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| ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率是多少，现在在用射频磁控溅射仪镀ITO，可是电阻率是十的负二次方，可能是什么原因造成的？ |
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xunmengyuan
禁虫 (正式写手)
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6楼2013-10-18 11:49:18