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1014488092

新虫 (初入文坛)

[求助] ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率

ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率是多少,现在在用射频磁控溅射仪镀ITO,可是电阻率是十的负二次方,可能是什么原因造成的?
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xyy3690

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

看你调的电流,电压上去了,就算啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
8楼2013-11-13 03:45:00
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