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十点人来疯

银虫 (小有名气)

应助: 4 (幼儿园)
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帖子: 141
在线: 209.9小时
虫号: 2113589

[交流] 射频磁控溅射功率问题

大家好.我请教两个射频磁控溅射功率问题.

1.在用射频电源的时候,一般电压表显示80 V时,电流表显示100 mA走有,按照功率P=UI 的计算功率的话,溅射功率只有8W.但是,实际的功率表却显示溅射功率在110W左右.这是怎么情况呢.

2.是不是射频溅射才有自偏压? 我理解的自偏压就是阴极位降区与阴极靶之间的电压.

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1楼 2014-04-17 15:48:21

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

射频圆圆

禁虫 (初入文坛)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

本帖内容被屏蔽

22楼2014-06-19 10:24:14

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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简单回复

三闲斋主8楼

2014-04-17 17:37 回复

十点人来疯(金币+1): 谢谢参与

！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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