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P3HT:PCBM木虫 (初入文坛)
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磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！ 已有2人参与
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| 新买的靶材，半导体掺杂类，用DC，50W，20min辉光一直有，阴极温度正常，而用RF，150W，一到两分钟就有很大反馈，辉光还有，但阴极会升温。用了0.3pa、0.5pa、1pa的气压都会出现这个问题。 靶材装了铜基板，但在靶面边缘处有一个被磕脱了1cm*0.5cm大小的薄片，1mm厚。把脱了的薄片放上面时还能吻合得较好。试过拿开薄片，还是不行。 请有经验的朋友，帮忙分析一下~谢谢！ |
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2楼2014-03-07 08:57:08
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