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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！
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P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！ 已有2人参与

新买的靶材，半导体掺杂类，用DC，50W，20min辉光一直有，阴极温度正常，而用RF，150W，一到两分钟就有很大反馈，辉光还有，但阴极会升温。用了0.3pa、0.5pa、1pa的气压都会出现这个问题。  靶材装了铜基板，但在靶面边缘处有一个被磕脱了1cm*0.5cm大小的薄片，1mm厚。把脱了的薄片放上面时还能吻合得较好。试过拿开薄片，还是不行。   请有经验的朋友，帮忙分析一下~谢谢！
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1楼 2014-03-06 19:19:34
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2014-03-07 08:57:08
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P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2014-03-07 08:57:08
一般起辉后只要调电容大小应该能把反射功率调到最小的

谢谢回复！  问题就是先前调节好了的反馈，过段时间就会跳掉，如150w的功率一下子就到了78的功率。
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3楼2014-03-07 10:10:10
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
P3HT:PCBM: 金币+5, ★有帮助 2014-03-08 12:54:36
把气压调4~5Pa，然后慢慢往下调试看看，反馈功率很大有一部分就是你阴极有问题，检查匹配器到靶座检查一下，如果你的靶座用DC好好的，用RF不行，确定RF没问题，就增大AR流量
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4楼2014-03-07 11:26:44
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P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 尘隐土 at 2014-03-07 11:26:44
把气压调4~5Pa，然后慢慢往下调试看看，反馈功率很大有一部分就是你阴极有问题，检查匹配器到靶座检查一下，如果你的靶座用DC好好的，用RF不行，确定RF没问题，就增大AR流量

谢谢你的回复，气压我们一般用到的都是1pa以下，不过可以试试。靶座检查过没什么问题，就是以前没有一块铜基板，这块新靶材加了块铜基板。
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5楼2014-03-08 12:54:24
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wxzx905

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我前段时间就遇到这种情况，试着清理一下真空腔，或者看看循环水有没有问题
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6楼2014-03-26 10:16:38
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