应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
61/1返回列表
查看: 1927  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！ 已有2人参与

新买的靶材，半导体掺杂类，用DC，50W，20min辉光一直有，阴极温度正常，而用RF，150W，一到两分钟就有很大反馈，辉光还有，但阴极会升温。用了0.3pa、0.5pa、1pa的气压都会出现这个问题。  靶材装了铜基板，但在靶面边缘处有一个被磕脱了1cm*0.5cm大小的薄片，1mm厚。把脱了的薄片放上面时还能吻合得较好。试过拿开薄片，还是不行。   请有经验的朋友，帮忙分析一下~谢谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-03-06 19:19:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

西塔小西西

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2014-03-07 08:57:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2014-03-07 08:57:08
一般起辉后只要调电容大小应该能把反射功率调到最小的

谢谢回复！  问题就是先前调节好了的反馈，过段时间就会跳掉，如150w的功率一下子就到了78的功率。
赞一下 回复此楼
3楼2014-03-07 10:10:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
P3HT:PCBM: 金币+5, ★有帮助 2014-03-08 12:54:36
把气压调4~5Pa，然后慢慢往下调试看看，反馈功率很大有一部分就是你阴极有问题，检查匹配器到靶座检查一下，如果你的靶座用DC好好的，用RF不行，确定RF没问题，就增大AR流量
赞一下 回复此楼
4楼2014-03-07 11:26:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 尘隐土 at 2014-03-07 11:26:44
把气压调4~5Pa，然后慢慢往下调试看看，反馈功率很大有一部分就是你阴极有问题，检查匹配器到靶座检查一下，如果你的靶座用DC好好的，用RF不行，确定RF没问题，就增大AR流量

谢谢你的回复，气压我们一般用到的都是1pa以下，不过可以试试。靶座检查过没什么问题，就是以前没有一块铜基板，这块新靶材加了块铜基板。
赞一下 回复此楼
5楼2014-03-08 12:54:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wxzx905

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我前段时间就遇到这种情况，试着清理一下真空腔，或者看看循环水有没有问题
赞一下 回复此楼
6楼2014-03-26 10:16:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 P3HT:PCBM 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 南京大学化学调剂 +9 景随风 2026-03-29 14/700 2026-03-29 21:22 by chixmc
[考研] 311求调剂 +6 冬十三 2026-03-24 6/300 2026-03-29 20:45 by 无际的草原
[考研] 275求调剂 +15 Micky11223 2026-03-25 20/1000 2026-03-29 20:44 by 唐沐儿
[考研] 一志愿武汉理工，总分321，英一数二，求老师收留。 +11 nnnnnnn5 2026-03-25 11/550 2026-03-29 20:42 by 无际的草原
[考研] 求调剂 +9 张zz111 2026-03-27 10/500 2026-03-29 14:57 by 唐沐儿
[考研] 求收留 +5 1943443204 2026-03-28 5/250 2026-03-29 12:11 by 无际的草原
[考研] 289求调剂 +13 新时代材料 2026-03-27 13/650 2026-03-29 01:16 by 544594351
[考研] 291求调剂 +15 hhhhxn.. 2026-03-23 21/1050 2026-03-28 11:26 by self2008
[考研] 086502化学工程342求调剂 +6 阿姨复古不过 2026-03-27 6/300 2026-03-28 07:06 by wangy0907
[考研] 331环境科学与工程求调剂 +3 熠然好运气 2026-03-27 3/150 2026-03-28 04:11 by fmesaito
[考研] 352分 化工与材料 +5 海纳百川Ly 2026-03-27 5/250 2026-03-28 03:39 by fmesaito
[考研] 265求调剂 +8 小木虫085600 2026-03-27 8/400 2026-03-27 22:16 by 无际的草原
[考研] 考研调剂 +9 小蜡新笔 2026-03-26 9/450 2026-03-27 11:10 by 不吃魚的貓
[硕博家园] 北京林业大学硕导招生广告 +6 kongweilin 2026-03-26 8/400 2026-03-27 10:18 by FF_16
[考研] 总分322求生物学/生化与分子/生物信息学相关调剂 +5 星沉uu 2026-03-26 6/300 2026-03-26 19:02 by macy2011
[考研] 085602化学工程求调剂。 +4 平乐乐乐 2026-03-26 4/200 2026-03-26 17:57 by fmesaito
[考研] 一志愿天津大学339材料与化工求调剂 +3 江往卖鱼 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:42 by 王小欠i
[考研] 303求调剂 +6 蓝山月 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:47 by 418490947
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-25 3/150 2026-03-25 19:03 by Ainin_
[考研] 282求调剂 +3 wcq131415 2026-03-24 3/150 2026-03-25 12:16 by userper
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭