| 查看: 2200 | 回复: 5 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
P3HT:PCBM木虫 (初入文坛)
|
[求助]
磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！ 已有2人参与
|
||
| 新买的靶材，半导体掺杂类，用DC，50W，20min辉光一直有，阴极温度正常，而用RF，150W，一到两分钟就有很大反馈，辉光还有，但阴极会升温。用了0.3pa、0.5pa、1pa的气压都会出现这个问题。 靶材装了铜基板，但在靶面边缘处有一个被磕脱了1cm*0.5cm大小的薄片，1mm厚。把脱了的薄片放上面时还能吻合得较好。试过拿开薄片，还是不行。 请有经验的朋友，帮忙分析一下~谢谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 |
» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有185人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
已经有33人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
已经有20人回复
- 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
已经有6人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
P3HT:PCBM
木虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1578.5
- 帖子: 24
- 在线: 10.1小时
- 虫号: 2671688
- 注册: 2013-09-22
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
3楼2014-03-07 10:10:10
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2014-03-07 08:57:08
尘隐土
木虫 (正式写手)
贫困区
- 应助: 19 (小学生)
- 金币: 2954.5
- 红花: 11
- 帖子: 632
- 在线: 332.3小时
- 虫号: 2810346
- 注册: 2013-11-18
- 专业: 光子与光电子器件
4楼2014-03-07 11:26:44
P3HT:PCBM
木虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1578.5
- 帖子: 24
- 在线: 10.1小时
- 虫号: 2671688
- 注册: 2013-09-22
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
5楼2014-03-08 12:54:24
