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P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1578.5
帖子: 24
在线: 10.1小时
虫号: 2671688
注册: 2013-09-22
性别: GG
专业: 等离子体物理

[求助] 磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！已有2人参与

新买的靶材，半导体掺杂类，用DC，50W，20min辉光一直有，阴极温度正常，而用RF，150W，一到两分钟就有很大反馈，辉光还有，但阴极会升温。用了0.3pa、0.5pa、1pa的气压都会出现这个问题。靶材装了铜基板，但在靶面边缘处有一个被磕脱了1cm*0.5cm大小的薄片，1mm厚。把脱了的薄片放上面时还能吻合得较好。试过拿开薄片，还是不行。请有经验的朋友，帮忙分析一下~谢谢！

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1楼 2014-03-06 19:19:34

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西塔小西西

禁虫 (小有名气)

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2楼2014-03-07 08:57:08

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