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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 直流磁控溅射电压变大
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小虫虫2012

金虫 (小有名气)

[求助] 直流磁控溅射电压变大

直流磁控溅射的锰氧化物靶材，靶材导电性能不好，但是直流可以起辉，而且还很稳定，但是隔了一个月，重新安装了一次靶材之后，再次溅射的时候电压比之前高了一百伏特左右，应该不是表面氧化的原因，因为现在起辉也挺稳定，现在考虑是不是直流源的问题，求问达人们直流源该怎么检查呢？？？
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moresamples,morephysics
1楼 2013-10-31 16:02:24
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小虫虫2012

金虫 (小有名气)
自己顶一个
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moresamples,morephysics
2楼2013-10-31 16:02:42
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wlj0311

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 小虫虫2012 at 2013-10-31 16:02:42
自己顶一个

你看一下溅射源后面的插口是否松动
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3楼2013-10-31 16:23:01
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小虫虫2012

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wlj0311 at 2013-10-31 16:23:01
你看一下溅射源后面的插口是否松动...

总电源那里特地清洗了一次，没有问题，电源接触不好不会让电压大那么多吧，还是谢谢哈
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moresamples,morephysics
4楼2013-10-31 17:11:43
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materialian

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
小虫虫2012: 金币+2, ★有帮助, 阴极贴的是没有问题的，压力计每次用之前都会校准，还是谢谢 2013-11-01 08:30:12
1. 检查锰氧化物靶材粘结于阴极是否相同
2. 压力计是否校正？
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5楼2013-11-01 00:58:29
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
小虫虫2012: 金币+1, ★有帮助, 功率相同的情况下比较的，就是电压变大，电流变小，你说的1,2.4三点我都已经说明了，不存在这个问题，至于第三点，由于是相同的靶材连续两次的溅射，所以也不成立，还是谢谢参与 2013-11-01 08:33:24
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
楼主说的电压升高一百伏左右是指用同样的直流电源功率下得到的么？ 个人觉得首先导电性不好的靶材最好不要用直流，浪费太多在加热靶材上，而不是溅射，同时也会产生靶中毒现象！言归正传，楼主需要检查以下几个设置：
1. 工作气体及气压是否与之前相同。
2. 装靶的时候阳极靶罩和阴极之间的间距是否合适
3. 靶材本身是否因为已经被溅射太多，造成上述第二点
4. 电源本身的输出功率是否变化
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
6楼2013-11-01 03:58:21
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小虫虫2012

金虫 (小有名气)
忙活了俩月，终于找到原因了---永磁体被冷却水腐蚀坏了，形不成一条闭合的磁力线，导致等离子体发散，所以仍然可以看到辉光，但是辉光比较发散，而且这时候由于等离子密度的下降也势必会导致溅射电压的升高以及电流的下降，我们将永磁体更换之后溅射效果有明显的改善，溅射光束呈现为一条密集的圆柱或圆锥型。
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moresamples,morephysics
7楼2013-11-28 09:44:56
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