| 查看: 2825 | 回复: 6 | |||
小虫虫2012金虫 (小有名气)
|
[求助]
直流磁控溅射电压变大
|
| 直流磁控溅射的锰氧化物靶材，靶材导电性能不好，但是直流可以起辉，而且还很稳定，但是隔了一个月，重新安装了一次靶材之后，再次溅射的时候电压比之前高了一百伏特左右，应该不是表面氧化的原因，因为现在起辉也挺稳定，现在考虑是不是直流源的问题，求问达人们直流源该怎么检查呢？？？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 |
» 猜你喜欢
一志愿郑州大学085600求调剂
已经有3人回复
-
求调剂 一志愿西南交通大学085701环境工程 282分
已经有7人回复
-
求调剂
已经有15人回复
-
材料专硕283求调剂
已经有15人回复
-
（调剂）一志愿报考哈尔滨工业大学0857资源与环境专业378分考生
已经有3人回复
-
本科211，293分请求调剂
已经有9人回复
-
315求调剂
已经有4人回复
-
308求调剂
已经有4人回复
-
301求调剂
已经有4人回复
-
304求调剂
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 对靶直流磁控溅射制备ZAO膜打火严重
已经有6人回复
- 磁控溅射反偏电压
已经有2人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
已经有6人回复
- 关于磁控溅射直流镀锌
已经有25人回复
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 新手求助各位大师关于磁控溅射NiMn靶的问题
已经有5人回复
- 求助：磁控溅射制备ZnOS薄膜，重复不出来
已经有18人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？
已经有6人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
小虫虫2012
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3292.3
- 散金: 78
- 帖子: 53
- 在线: 176.1小时
- 虫号: 2114007
- 注册: 2012-11-08
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2013-10-31 16:02:42
wlj0311
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 190
- 帖子: 7
- 在线: 20小时
- 虫号: 2736041
- 注册: 2013-10-19
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2013-10-31 16:23:01
小虫虫2012
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3292.3
- 散金: 78
- 帖子: 53
- 在线: 176.1小时
- 虫号: 2114007
- 注册: 2012-11-08
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2013-10-31 17:11:43
5楼2013-11-01 00:58:29
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
小虫虫2012: 金币+1, ★有帮助, 功率相同的情况下比较的，就是电压变大，电流变小，你说的1,2.4三点我都已经说明了，不存在这个问题，至于第三点，由于是相同的靶材连续两次的溅射，所以也不成立，还是谢谢参与 2013-11-01 08:33:24
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
感谢参与，应助指数 +1
小虫虫2012: 金币+1, ★有帮助, 功率相同的情况下比较的，就是电压变大，电流变小，你说的1,2.4三点我都已经说明了，不存在这个问题，至于第三点，由于是相同的靶材连续两次的溅射，所以也不成立，还是谢谢参与 2013-11-01 08:33:24
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
|
楼主说的电压升高一百伏左右是指用同样的直流电源功率下得到的么？ 个人觉得首先导电性不好的靶材最好不要用直流，浪费太多在加热靶材上，而不是溅射，同时也会产生靶中毒现象！言归正传，楼主需要检查以下几个设置： 1. 工作气体及气压是否与之前相同。 2. 装靶的时候阳极靶罩和阴极之间的间距是否合适 3. 靶材本身是否因为已经被溅射太多，造成上述第二点 4. 电源本身的输出功率是否变化 |
6楼2013-11-01 03:58:21
小虫虫2012
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3292.3
- 散金: 78
- 帖子: 53
- 在线: 176.1小时
- 虫号: 2114007
- 注册: 2012-11-08
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2013-11-28 09:44:56
