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小虫虫2012金虫 (小有名气)
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[求助]
直流磁控溅射电压变大
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| 直流磁控溅射的锰氧化物靶材，靶材导电性能不好，但是直流可以起辉，而且还很稳定，但是隔了一个月，重新安装了一次靶材之后，再次溅射的时候电压比之前高了一百伏特左右，应该不是表面氧化的原因，因为现在起辉也挺稳定，现在考虑是不是直流源的问题，求问达人们直流源该怎么检查呢？？？ |
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 磁控溅射靶材资料大全 |
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5楼2013-11-01 00:58:29
wlj0311
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3楼2013-10-31 16:23:01
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4楼2013-10-31 17:11:43
leongoall
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
小虫虫2012: 金币+1, ★有帮助, 功率相同的情况下比较的，就是电压变大，电流变小，你说的1,2.4三点我都已经说明了，不存在这个问题，至于第三点，由于是相同的靶材连续两次的溅射，所以也不成立，还是谢谢参与 2013-11-01 08:33:24
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
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小虫虫2012: 金币+1, ★有帮助, 功率相同的情况下比较的，就是电压变大，电流变小，你说的1,2.4三点我都已经说明了，不存在这个问题，至于第三点，由于是相同的靶材连续两次的溅射，所以也不成立，还是谢谢参与 2013-11-01 08:33:24
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2013-11-19 23:26:41
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楼主说的电压升高一百伏左右是指用同样的直流电源功率下得到的么？ 个人觉得首先导电性不好的靶材最好不要用直流，浪费太多在加热靶材上，而不是溅射，同时也会产生靶中毒现象！言归正传，楼主需要检查以下几个设置： 1. 工作气体及气压是否与之前相同。 2. 装靶的时候阳极靶罩和阴极之间的间距是否合适 3. 靶材本身是否因为已经被溅射太多，造成上述第二点 4. 电源本身的输出功率是否变化 |
6楼2013-11-01 03:58:21
