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690069175金虫 (正式写手)
头儿
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[求助]
磁控溅射反偏电压
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| 机器平时工作很稳定，这几次靶材功率源加到40W以上，反偏电压指针会突然满偏（平时我们要求其处于最低位置），辉光放电消失。功率源没有问题，问题在于靶材，不知道各位大侠有没有遇见过类似的问题，求大侠指教。 |
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liu2004m
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2楼2013-05-11 17:09:15
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金虫 (正式写手)
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