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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

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虫号: 1997161
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性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射反偏电压

机器平时工作很稳定，这几次靶材功率源加到40W以上，反偏电压指针会突然满偏（平时我们要求其处于最低位置），辉光放电消失。功率源没有问题，问题在于靶材，不知道各位大侠有没有遇见过类似的问题，求大侠指教。

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镀金

1楼2013-05-10 12:16:13

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回帖置顶 ( 共有1个 )

liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

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专业: 无机材料化学
管辖: 有奖问答

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
690069175: 金币+10, 博学EPI+1, ★有帮助 2013-05-13 06:59:04

是不是靶材加压不均匀

2楼2013-05-11 17:09:15

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普通回帖

690069175

金虫 (正式写手)

头儿

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 1997161
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性别: GG
专业: 半导体材料

引用回帖:

2楼: Originally posted by liu2004m at 2013-05-11 17:09:15
是不是靶材加压不均匀

修机器的时候发现靶材短路了，谢谢

镀金

3楼2013-05-13 06:58:51

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