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我要做实验

铜虫 (小有名气)

[求助] 对靶直流磁控溅射制备ZAO膜打火严重

使用对靶直流磁控溅射法制备ZAO薄膜时，背地真空在2*10-4Pa,Ar流量50sccm，5Pa起辉时打火严重，电流表跟电压表晃动特别厉害，都能听到撞的声音，然后把起辉压强调至15Pa，能稳定一段时间但是还是会有打火现象，不过比5Pa时好很多，在此基础上将压强调小，到达8Pa左右时出现严重打火现象
请教各位虫友，为何会出现上述状况？万分感谢！！
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1楼 2013-05-16 21:04:40
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫来本版交流 2013-05-17 20:12:02
我要做实验: 金币+2, ★有帮助 2013-05-18 08:47:52
你的这个实验参数我没有做过，感觉有点问题。

起辉气压2-5Pa，打火说明靶材表面有异物，适当增大电流，清洗靶材，
10-30分钟后，再次调整沉积气压和电流。
我做ZAO薄膜都是0.5-1Pa。仅供参考。
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2楼2013-05-17 19:18:35
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我要做实验

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-17 19:18:35
你的这个实验参数我没有做过，感觉有点问题。

起辉气压2-5Pa，打火说明靶材表面有异物，适当增大电流，清洗靶材，
10-30分钟后，再次调整沉积气压和电流。
我做ZAO薄膜都是0.5-1Pa。仅供参考。

我们的设备只有一个旋钮，调电流的话就电压一定会动，而且电流只有0.04A的时候电压就有1000V左右了。
刚开电源开关的时候会有，电压 表会有示数，电流为0,过一段时间慢慢归0.当灭辉的时候，电流为0了，电压仍有示数，过一段时间慢慢归0，您见过这种状况吗？
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3楼2013-05-18 08:47:33
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
我要做实验: 金币+1, 我想知道更具体一点的 2013-05-20 08:40:48
引用回帖:
3楼: Originally posted by 我要做实验 at 2013-05-18 08:47:33
我们的设备只有一个旋钮，调电流的话就电压一定会动，而且电流只有0.04A的时候电压就有1000V左右了。
刚开电源开关的时候会有，电压 表会有示数，电流为0,过一段时间慢慢归0.当灭辉的时候，电流为0了，电压仍有示 ...

这种情况，我认为是正常的。
电流0.04A，1000V左右，粗略计算DC功率40W,这也不算大。
改变一下气压看看吧。
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4楼2013-05-20 07:56:09
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我要做实验

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-20 07:56:09
这种情况，我认为是正常的。
电流0.04A，1000V左右，粗略计算DC功率40W,这也不算大。
改变一下气压看看吧。...

已经改过气压了，但是不能降到8Pa一下，不然就打火严重的不行，调气压时，随着气压的降低，电压会增大，电流不变，您能解释一下为什么吗？
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5楼2013-05-20 08:40:29
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十点人来疯

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
我要做实验: 金币+1 2013-05-23 09:02:18
fbqrdzs: 金币+1, 应助指数+1, 鼓励新虫交流。 2013-07-15 11:00:53
DC的还没做过，昨天我做的RF，1.0pa，90W，一切正常。出现打弧，是不是和偏压有关系呢
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6楼2013-05-23 08:46:16
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huihuidl

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 我要做实验 at 2013-05-18 08:47:33
我们的设备只有一个旋钮，调电流的话就电压一定会动，而且电流只有0.04A的时候电压就有1000V左右了。
刚开电源开关的时候会有，电压 表会有示数，电流为0,过一段时间慢慢归0.当灭辉的时候，电流为0了，电压仍有示 ...

我的电流表，电压表也是这种情况，很正常
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7楼2013-07-15 10:50:37
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